[發明專利]芯片植球裝置無效
| 申請號: | 200910188248.4 | 申請日: | 2009-10-23 |
| 公開(公告)號: | CN102044453A | 公開(公告)日: | 2011-05-04 |
| 發明(設計)人: | 謝磊 | 申請(專利權)人: | 沈陽晨訊希姆通科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60 |
| 代理公司: | 上海智信專利代理有限公司 31002 | 代理人: | 薛琦;朱水平 |
| 地址: | 110135 遼寧省沈陽市*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 芯片 裝置 | ||
1.一種芯片植球裝置,其特征在于,其包括:一底板,該底板的上表面活動連接一芯片定位件,該芯片定位件上設有一放置芯片的凹槽;一與該底板適配的網板壓框,該網板壓框設于該底板上。
2.根據權利要求1所述的芯片植球裝置,其特征在于,該網板壓框包括一上框架,該上層板為開口環形;一設于該上壓框下面的下壓框,該下壓框的中央設有一開口,該開口貫通該中層板的上下表面,且與該芯片定位件相適配。
3.根據權利要求2所述的芯片植球裝置,其特征在于,該上框架與該下框架采用螺栓連接。
4.根據權利要求1所述的芯片植球裝置,其特征在于,該凹槽的四個角均設有圓角。
5.根據權利要求1所述的芯片植球裝置,其特征在于,該開口的四個角均設有圓角。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





