[發(fā)明專利]探測器裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910180185.8
• 申請日: 2009-11-16
• 公開（公告）號: CN101769987A
• 公開（公告）日: 2010-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 山田浩史;矢野和哉;遠藤朋也;山縣一美;中矢哲
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/02;G01B11/03
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務所 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種探測器裝置，該探測器裝置在設(shè)置于殼體內(nèi)部的、 能夠沿著水平面移動且能夠升降的載置臺上載置基板，使探測 卡的探頭與基板上的電極焊盤接觸而測定形成于基板的被檢查 部的電特性，其特征在于，

包括：

下側(cè)攝像部，設(shè)置在上述載置臺的側(cè)部，用于拍攝探測卡；

上側(cè)攝像部，用于拍攝上述探測卡時在與上述載置臺的移 動區(qū)域重合的位置拍攝上述載置臺上的基板；

移動機構(gòu)，用于使該上側(cè)攝像部在拍攝上述基板時的上述 位置、與形成在上述移動區(qū)域的上方側(cè)且脫離上述探測卡的位 置的退避區(qū)域之間移動，

上述退避區(qū)域是形成于上述殼體的頂板的凹部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探測器裝置，其特征在于，

上述移動機構(gòu)包括使上側(cè)攝像部水平移動的水平移動機 構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探測器裝置，其特征在于，

上述水平移動機構(gòu)包括水平引導構(gòu)件和被該水平引導構(gòu)件 引導而水平移動的移動構(gòu)件；

上述移動構(gòu)件包括設(shè)置于上述移動構(gòu)件的、用于使上述上 側(cè)攝像部升降的升降機構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探測器裝置，其特征在于，

上述水平移動機構(gòu)包括水平引導構(gòu)件和被該水平引導構(gòu)件 引導而水平移動的移動構(gòu)件；

上述移動構(gòu)件包括設(shè)置于上述移動構(gòu)件的、用于使上述上 側(cè)攝像部升降的升降機構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探測器裝置，其特征在于，

該探測器裝置構(gòu)成為使上述探測卡的探頭與基板上的所有 電極焊盤一并接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探測器裝置，其特征在于，

該探測器裝置構(gòu)成為使上述探測卡的探頭與基板上的所有 電極焊盤一并接觸。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的探測器裝置，其特征在于，

該探測器裝置構(gòu)成為使上述探測卡的探頭與基板上的所有 電極焊盤一并接觸。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探測器裝置，其特征在于，

該探測器裝置構(gòu)成為使上述探測卡的探頭與基板上的所有 電極焊盤一并接觸。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項所述的探測器裝置，其特征 在于，

當假設(shè)在X、Y平面中上述上側(cè)攝像部的上述退避區(qū)域相對 于上述探測卡位于向Y方向錯位的位置時，上述上側(cè)攝像部包 括沿X方向并列的第1攝像機及第2攝像機，上述下側(cè)攝像部包 括對稱地配置在通過載置臺的基板載置區(qū)域的中心、且沿Y方 向延伸的線兩側(cè)的第1攝像機及第2攝像機。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的探測器裝置，其特征在于，

在上述上側(cè)攝像部及上述下側(cè)攝像部中，在上述上側(cè)攝像 部的第1攝像機與第2攝像機之間設(shè)有第1目標，在上述下側(cè)攝 像部的第1攝像機與第2攝像機之間設(shè)有第2目標，分別使上述 上側(cè)攝像部的上述第1攝像機與上述下側(cè)攝像部的上述第1攝 像機的焦點位置重合，使上述上側(cè)攝像部的上述第2攝像機與 上述下側(cè)攝像部的上述第2攝像機的焦點位置重合，

接著，通過由上述上側(cè)攝像部拍攝上述第2目標來校正上 述上側(cè)攝像部和上述下側(cè)攝像部的位置，或者由上述下側(cè)攝像 部拍攝上述第1目標來校正上述上側(cè)攝像部和上述下側(cè)攝像部 的位置。