[發明專利]準分子燈裝置

有效

• 申請號: 200910179180.3
• 申請日: 2009-09-29
• 公開（公告）號: CN101714497A
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 大塚優一;山森賢治
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: H01J65/00
• 分類號: H01J65/00;G01J1/00;H05B41/36
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 黃劍鋒

技術領域

本發明涉及被使用于紫外線照射處理的準分子燈裝置，尤其涉及具備 測定從準分子燈所放射的紫外線的光傳感器的準分子燈裝置。

背景技術

近年來，例如在液晶顯示面板的玻璃基板利用紫外線照射的清洗工序 等中，使用具備放射波長200nm以下的真空紫外光、例如172nm的真空紫 外光的準分子燈的準分子燈裝置。在這些準分子燈裝置中，由于真空紫外 光在空氣中衰減，因而在成為筐體的開口部的由半導體基板或液晶基板等 的工件所形成的被照射物與準分子燈之間，設置由石英玻璃所形成的窗材， 通過窗材而將真空紫外光照射在被照射物。然而，石英玻璃所形成的窗材 價格高，因而如專利文獻1所示，采用拆除石英玻璃所形成的窗材，使被 照射物與準分子燈接近的構造。

一方面，準分子燈由于隨著經過其使用時間的劣化，因而所照射的真 空紫外光的強度會逐漸地降低。當所照射的真空紫外光的強度降低，則清 洗被照射物的表面的能力也會降低。所以，隨時測定來自準分子燈的真空 紫外光的強度，使得強度不會降低至預定值以下，進行提高燈輸入的反饋 控制，或是強度無法輸出至預定值以上時，則必須更換準分子燈。

在專利文獻1所述的準分子燈裝置，記載有設置檢測出來自準分子燈 的真空紫外光的強度的光傳感器。該光傳感器例如將172nm的紫外線由螢 光體變換成可視光，并以光電二極管檢測出可視光而變換電信號得到輸出。

圖7是表示專利文獻1所述的沿著垂直于準分子燈101的長邊方向的 方向的準分子燈裝置100的概略構成的剖面圖，圖8是表示圖7所示的準 分子燈101的構成的立體圖。

如圖8所示，具備長方體的放電室102的準分子燈101，垂直于燈的長 邊方向的方向的剖面為長方形，而在放電室102的上下兩面以沿著放電室 102的長邊方向延伸的方式設有外部電極103，104。在該例子中，設于上 面的一方的外部電極103被構成板狀，而設于下面的另一方的外部電極104 被構成網狀。另外，在放電室102的上面，設有相對于光傳感器105的板 狀地構成的外部電極103的一部分被削除的開口部106。

如圖7所示，準分子燈101以網狀地構成的外部電極104相對于被照 射物W的方式，設置多支、例如圖示那樣設置3支于準分子燈裝置100的 筐體107的內部。筐體107被構成一面被開口的箱狀，在與其開口面平行 的方向搬運被照射物W。在相對于筐體107的上述開口面的一面，設有導 出導入測定來自準分子燈101的真空紫外光的光傳感器105的貫通孔108， 該貫通孔108由于導入導出光傳感器105，因而設于相對于準分子燈101 的開口部106的位置。

從筐體107的貫通孔108導出導入的光傳感器105，設有：從準分子燈 101照射真空紫外光的螢光體109，及檢測出通過螢光體109被變換的可視 光的光電二極管110。光傳感器105在檢測出來自準分子燈101的真空紫外 光時，則通過氣缸111從筐體107的貫通孔108被導入至筐體107的內部， 朝準分子燈101的開口部106移動一定量而被近接。近接于開口部106的 光傳感器105將真空紫外光通過螢光體109變換成可視光，而通過光電二 極管110檢測出可視光。若檢測結束，則光傳感器105通過氣缸111，再經 貫通孔108而被導出至筐體107的外部。該光傳感器105的導出導入，通 過被連接于光傳感器105的氣缸111進行。

專利文獻1：日本特開2004-97986號公報

但是，該準分子燈裝置100由于筐體107的一面被開放，因而筐體107 的內部成為大氣狀態。所以，準分子燈101點燈時，通過準分子燈101所 照射的真空紫外光與大氣中的氧氣進行反應，因而大氣中的氧氣濃度會變 化。一方面，隨著利用未予圖示的搬運機構搬運被照射物W，筐體107的 內部發生氧氣濃度有變化的大氣的對流C。所以，由于該對流C，使得光 傳感器105與準分子燈101之間的氧氣濃度會變化，而從準分子燈101所 放射的真空紫外光對氧氣的吸收量會變化，通過光傳感器105所檢測出的 真空紫外光對氧氣的吸收量會變化。