[發明專利]準分子燈裝置

有效

• 申請號: 200910179180.3
• 申請日: 2009-09-29
• 公開（公告）號: CN101714497A
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 大塚優一;山森賢治
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: H01J65/00
• 分類號: H01J65/00;G01J1/00;H05B41/36
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 黃劍鋒

1.一種準分子燈裝置，具有：準分子燈，測定從該準分子燈所放射的紫 外準分子光的光傳感器，及至少收納上述準分子燈與上述光傳感器的筐體， 其特征為：

上述光傳感器具有：具備光電二極管與螢光體的光監測器部，具有開 放于該光監測器部側與上述準分子燈側的開口、上述準分子燈側的開口被 接近配置于上述準分子燈的筒狀部，及連結上述光監測器部與上述筒狀部 的基臺部，

上述筒狀部具有：內徑從上述基臺部側朝上述準分子燈側被漸次小徑 化的漸次小徑化部，比該漸次小徑化部靠近上述準分子燈地形成的最小內 徑部，及內徑從該最小內徑部朝上述準分子燈側被漸次大徑化的漸次大徑 化部，

上述基臺部具有將被導入到上述筒狀部的惰性氣體導入的氣體導入 口，

測定上述紫外準分子光時，使從上述氣體導入口所導入的惰性氣體通 過上述筒狀部內、從上述筒狀部的上述準分子燈側的上述開口放出。

2.如權利要求1所述的準分子燈裝置，其特征為：

由上述光監測器部的光入射側的開口周緣與上述筒狀部的最小內徑部 內緣所規定的上述光監測器部的光攝取角度，比上述筒狀部的上述準分子 燈側的上述開口端區域的漸次大徑化部的內周面的開口角度小。

3.如權利要求1或2所述的準分子燈裝置，其特征為：

上述筒狀部是陶瓷構件。

4.如權利要求1或2所述的準分子燈裝置，其特征為：

在上述基臺部的上述氣體導入口與上述筒狀部之間，形成有氣體壓力 調整空間。

5.如權利要求3所述的準分子燈裝置，其特征為：

在上述基臺部的上述氣體導入口與上述筒狀部之間，形成有氣體壓力 調整空間。