[發明專利]一種多晶硅生產裝置及工藝有效
| 申請號： | 200910178571.3 | 申請日： | 2009-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN102030329A | 公開（公告）日： | 2011-04-27 |
| 發明（設計）人： | 周強民 | 申請（專利權）人： | 重慶大全新能源有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/03 | 分類號： | C01B33/03;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 404000 *** | 國省代碼： | 重慶;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 生產 裝置 工藝 | ||
1.一種多晶硅生產裝置，包括三氯氫硅合成爐、三氯氫硅還原爐、四氯化硅氫化爐、三氯氫硅合成尾氣回收裝置和三氯氫硅還原尾氣回收裝置，其特征在于：
所述四氯化硅氫化爐的尾氣排出口與所述三氯氫硅合成爐的進料口連接，三氯氫硅還原尾氣回收裝置的進氣口與三氯氫硅還原爐的出氣口連接。
2.根據權利要求1所述的多晶硅生產裝置，其特征在于，所述三氯氫硅合成尾氣回收裝置的出氣口處連接氣體壓縮機，氣體壓縮機的出氣口與四氯化硅氫化爐的進料口連接。
3.根據權利要求2所述的多晶硅生產裝置，其特征在于，所述氣體壓縮機為氫壓機。
4.一種使用權利要求1至3中任一項所述的多晶硅生產裝置生產多晶硅的工藝，其特征在于，包括：
先進行四氯化硅氫化工序；
將四氯化硅氫化產生的尾氣通入三氯氫硅合成工序；
三氯氫硅合成產生的尾氣進行回收，所產合成料經過精餾提純后使得到的高純三氯氫硅進入三氯氫硅還原工序，高純四氯化硅回至四氯化硅氫化工序；
高純三氯氫硅還原制備多晶硅；
高純三氯氫硅還原產生的尾氣進行回收，精餾提純后使得到的高純三氯氫硅回用至三氯氫硅還原工序，高純四氯化硅回用至四氯化硅氫化工序。
5.根據權利要求4所述的工藝，其特征在于，在所述三氯氫硅合成產生的尾氣進行回收的步驟中，還包括：將尾氣中的氫氣回收進入四氯化硅氫化工序，將氯化氫回收進入三氯氫硅合成工序。
6.根據權利要求4所述的工藝，其特征在于，在所述高純三氯氫硅還原產生的尾氣進行回收的步驟中，還包括：將尾氣中的氫氣回收進入三氯氫硅還原工序，氯化氫回收進入三氯氫硅合成工序。
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