[發明專利]槽式晶體硅濕法制絨設備

有效

• 申請號: 200910177108.7
• 申請日: 2009-09-25
• 公開（公告）號: CN101654809A
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發明（設計）人: 耿彪
• 申請（專利權）人: 耿彪
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.槽式晶體硅濕法制絨設備，其特征在于，包括藥液循環系統、藥液 濃度管理系統、藥液溫度控制系統，三者通過回水管路順序連接，所述藥 液循環系統包括工藝槽(1)，所述工藝槽(1)由內槽(4)與外槽(6)組 成，所述內槽(4)設置于外槽(6)中，上述內槽(4)與外槽(6)所構 成的工藝槽(1)和蝕刻液循環用的儲存罐構成的一體化蝕刻液循環系統即 藥液循環系統，藥液循環系統通過循環增加內槽(4)的溫度均勻性，在處 理中使液體形成連續循環來達到所要求的溫度均勻化，藥液濃度管理系統 分四路供給內槽(4)，其中兩路由藥液原液罐通過泵、流量計、電磁閥、 氣控閥直接供給，另兩路通過藥液稱量槽流量計、電磁閥、氣控閥供給； 這樣精確控制藥液每次的加入量，從而保證了內槽(4)內部藥液濃度的恒 定性。

2.根據權利要求1所述的槽式晶體硅濕法制絨設備，其特征在于，所 述內槽上方設置有通孔板。

3.根據權利要求1所述的槽式晶體硅濕法制絨設備，其特征在于，所 述內槽底部設有注入口、循環口和排液口。

4.根據權利要求1所述的槽式晶體硅濕法制絨設備，其特征在于，所 述內槽頂部四面設有溢流U型槽。

5.根據權利要求1所述的槽式晶體硅濕法制絨設備，其特征在于，所 述內槽內壁設有多數個通孔。

6.根據權利要求1所述的槽式晶體硅濕法制絨設備，其特征在于：所 述內槽外壁設置有流量調節板。

7.根據權利要求1所述的槽式晶體硅濕法制絨設備，其特征在于：工 藝槽(1)壁面通孔(9)的大小和工藝槽(1)的高度形成此例，上孔直徑 大于近鄰的下孔直徑。