[發明專利]陣列基板及其制造方法

有效

• 申請號: 200910175193.3
• 申請日: 2009-10-20
• 公開（公告）號: CN101694839A
• 公開（公告）日: 2010-04-14
• 發明（設計）人: 陳昱丞;林志宏;李怡慧
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: H01L27/02
• 分類號: H01L27/02;H01L21/82;H01L21/336;H01L21/28;G02F1/1362;G02F1/1368;G03F7/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 任默聞

技術領域

本發明是有關于一種陣列基板及其制造方法，且特別是有關于一種液晶顯示面板的陣列基板及其制造方法。

背景技術

液晶顯示器具有高畫質、體積小、重量輕、低電壓驅動、低消耗功率及應用范圍廣等優點，因此其已取代陰極射線管(cathode?ray?tube，CRT)成為新一代顯示器的主流。傳統的液晶顯示面板是由彩色濾光基板(color?filtersubstrate)、薄膜晶體管陣列基板(thin?film?transistor?array?substrate，TFT?arraysubstrate)以及配置于此兩基板之間的液晶層(liquid?crystal?layer)所構成。一般而言，薄膜晶體管陣列基板上設置有多個像素單元，且彩色濾光基板上則設置有多個對應像素單元的濾光單元。為了使彩色濾光基板與薄膜晶體管陣列基板之間保持一定的間隙，一般都會在兩基板之間設置間隙物。

在目前的液晶顯示器中，間隙物通常是形成在彩色濾光基板上。后續將兩基板進行組立之后便可以使得間隙物的兩端各自與兩基板表面接觸，進而維持兩基板之間的間隙。為了在彩色濾光基板上形成上述之間隙物，通常需另外使用一道掩膜來形成此間隙物。

因此，如果可以將間隙物的制造程序整合于薄膜晶體管陣列基板的制造程序中，便能省去彩色濾光基板制造程序中用來形成間隙物的掩膜，進而降低制造成本。

發明內容

本發明提供一種陣列基板的制造方法以及以此方法所制造出的陣列基板，其可以將間隙物的制造程序整合于薄膜晶體管陣列基板的制造程序中，以省去彩色濾光基板制造程序中用來形成間隙物的掩膜。

本發明提出一種陣列基板，其包括薄膜晶體管、保護層、像素電極、第一連接層以及第一間隙物。薄膜晶體管包括柵極、源極以及漏極。保護層覆蓋薄膜晶體管。像素電極位于保護層上。第一連接層位于像素電極上，其電連接像素電極與漏極。第一間隙物位于第一連接層上。

本發明另提出一種陣列基板的制造方法，此方法包括在基板上形成薄膜晶體管，該薄膜晶體管包括柵極、源極以及漏極。接著，依序形成保護層以及像素電極材料層，覆蓋薄膜晶體管。之后，在像素電極材料層以及保護層中形成第一接觸窗開口，暴露出漏極。圖案化像素電極材料層以定義出像素電極。之后，形成連接材料層以覆蓋像素電極并填入第一接觸窗開口。接著在連接材料層上形成第一間隙物，其中第一間隙物對應設置于第一接觸窗開口的上方。之后，以第一間隙物為罩幕移除未被第一間隙物覆蓋的連接材料層，以形成第一連接層，使像素電極與漏極電連接。

本發明可將間隙物整合于薄膜晶體管陣列基板的陣列基板的制造程序中，而且此制造程序不會增加原先陣列基板所需的掩膜數目。換言之，本發明的方法可以省去傳統彩色濾光基板制造程序中用來形成間隙物的掩膜，因此，本發明可以節省掩膜的使用數目，以降低制造成本。

為讓本發明的上述特征和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合所附圖式作詳細說明如下。

附圖說明

圖1A至圖1N是根據本發明一實施例的陣列基板的制造流程剖面示意圖；

圖2是根據本發明另一實施例的陣列基板的剖面示意圖；

圖3是根據本發明另一實施例的陣列基板的剖面示意圖。

主要元件符號說明：

100：基板

102：像素區

104：周邊區

110：絕緣層

112、112a：半導體層

114、114a：歐姆接觸層

116、116a導電層

120、120a、120b、130、130a、130b：光阻層

122：保護層

124：像素電極材料層

124a：像素電極

131：連接材料層

131a、131b：連接層

G：柵極

C：電容電極

S：源極

D：漏極

P1、P2：第一與第二導電結構

H1、H2、H3：開口

C1、C2、C3：接觸窗開口

S1、S2：間隙物

R1、R2：底切

具體實施方式

圖1A至圖1N為根據本發明一實施例的陣列基板的制造流程剖面示意圖。請參照圖1A，首先提供基板100，基板100具有像素區102以及周邊區104。為了詳細說明，以下的描述以及圖式在像素區102中是以一個陣列基板為例來說明。事實上，在基板100的像素區102內會形成有多個陣列基板。另外，周邊區104是位于像素區102的外圍。