[發(fā)明專利]高真空閥

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910174147.1
• 申請日: 2009-09-30
• 公開（公告）號: CN101713463A
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 櫻井豐信;神坂育男
• 申請（專利權(quán)）人: SMC株式會社
• 主分類號: F16K1/00
• 分類號: F16K1/00;F16K27/02;F16K41/00;F16K31/124
• 代理公司: 北京華夏正合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 11017
• 代理人: 韓登營;栗濤

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種高真空閥，其軸封采用帶潤滑脂槽的滑動密封結(jié) 構(gòu)。

背景技術(shù)

對于現(xiàn)有技術(shù)的高真空閥：其用于驅(qū)動開閉件使閥開閉的推桿處 的軸封若采用帶潤滑脂槽的滑動密封結(jié)構(gòu)時，由于在流路中流動的 氣體中有時會混入溶劑等，混入的溶劑等如果進(jìn)入軸封，用來保護(hù) 真空密封用密封部件的潤滑脂有可能因此產(chǎn)生溶解析出、流失或劣 化等問題。具體地講，當(dāng)上述溶劑等進(jìn)入上述推桿表面上的細(xì)微的 凹凸處時，其有可能會從真空側(cè)進(jìn)入潤滑脂槽，越過潤滑脂槽而到 達(dá)真空密封用密封部件處，使該密封部件劣化。此外，由于高真空 閥的流路處于真空環(huán)境中，而上述潤滑脂有可能蒸發(fā)或流失到流路 的真空環(huán)境中，這會導(dǎo)致真空密封用墊圈由于缺少潤滑脂而早期磨 損并發(fā)生漏油(leak)等問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種高真空閥，其中，驅(qū)動開閉件使閥開 閉的推桿處的軸封采用帶潤滑脂槽的滑動密封結(jié)構(gòu)，該高真空閥可 軸封防止該軸封發(fā)生缺少潤滑脂的情況，實現(xiàn)延長該軸封的壽命的 目的。

更具體地講，本發(fā)明的目的是提供一種高真空閥，采取簡單的結(jié) 構(gòu)就能有效地遏制潤滑脂從上述軸封蒸發(fā)、溶解析出或流失到處于 真空環(huán)境中的流路內(nèi)。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的高真空閥的結(jié)構(gòu)為，其包括： 閥體部，在第一閥口和第二閥口之間形成的流路中設(shè)置閥座，還具 有通過相對該閥座接合或分離而開閉該流路的開閉件；閥驅(qū)動部， 由驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動的推桿將與上述閥體部的閥座面對的流路壁以密封 狀態(tài)貫穿并插入到該流路中，上述閥驅(qū)動部驅(qū)動連結(jié)在上述推桿頂 端的上述開閉件來開閉閥座，其中，在貫穿上述閥體部的流路壁的 上述推桿的貫通孔內(nèi)設(shè)置有潤滑脂槽，在該貫通孔內(nèi)的潤滑脂槽的 上述流路一側(cè)設(shè)置用來保留潤滑脂的密封部件，而在上述貫通孔內(nèi) 的潤滑脂槽的相反一側(cè)設(shè)置用來真空密封的密封部件，由此構(gòu)成上 述貫通孔的軸封，并使上述潤滑脂槽的軸向長度與上述開閉件的最 大行程相同或大于該最大行程。

本發(fā)明的高真空閥的實施方式中優(yōu)選如下結(jié)構(gòu)：在上述貫通孔內(nèi) 的流路側(cè)端設(shè)置有刮板。

此外，用來驅(qū)動上述開閉件的驅(qū)動機(jī)構(gòu)為如下結(jié)構(gòu)：在頂端連結(jié) 有上述開閉件并使另一端從上述流路壁朝向套管內(nèi)的缸體部突出的 上述推桿上，連結(jié)有以在該缸體部內(nèi)可以滑動的方式收納在缸體部 內(nèi)的活塞，由供排到該缸體部內(nèi)的先導(dǎo)流體的壓力通過上述活塞和 推桿來驅(qū)動開閉件。

上述高真空閥采用上述引導(dǎo)式驅(qū)動的結(jié)構(gòu)時，優(yōu)選將上述缸體部 的至少活塞的推桿連結(jié)側(cè)的活塞室當(dāng)作供排先導(dǎo)流體的壓力的壓力 室，在上述推桿貫穿其內(nèi)的貫通孔的該壓力室側(cè)端設(shè)置用來密封該 壓力室的墊圈，并使該用來密封壓力室的墊圈和真空密封用密封部 件之間的空間通過通孔朝向外部開口，其中，真空密封用密封部件 位于貫通孔內(nèi)的潤滑脂槽的上述壓力室一側(cè)，上述通孔用來使從上 述壓力室經(jīng)上述用來密封壓力室的墊圈而漏出的空氣溢出。

在具有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的高真空閥中，由于在閥體部中、供推 桿貫穿的貫通孔內(nèi)設(shè)置有軸向長度與開閉件的最大行程相同、或大 于該最大行程的潤滑脂槽，所以推桿表面上存在與潤滑脂槽中的潤 滑脂始終保持接觸的部分，而且，在開閉開閉件的任意一個行程中， 推桿表面上的始終與潤滑脂槽接觸的部分會與潤滑脂槽兩端的某一 個密封部件接觸，因而會向所接觸的密封部件補(bǔ)充潤滑脂而實現(xiàn)延 長密封部件的壽命的目的。

采用以上詳述的本發(fā)明的高真空閥的結(jié)構(gòu)時，對于用來驅(qū)動開閉 件使閥開閉的推桿處的軸封是采用帶設(shè)置潤滑脂槽的滑動密封結(jié)構(gòu) 的高真空閥，可防止軸封發(fā)生缺少潤滑脂的情況，可以實現(xiàn)延長軸 封的壽命的目的，更具體地講，本發(fā)明采取簡單的結(jié)構(gòu)就能有效地 遏制潤滑脂從上述軸封蒸發(fā)、溶解析出或流失到處于真空環(huán)境中的 流路內(nèi)。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的高真空閥的實施方式中的縱向剖視圖，其表示高 真空閥的左半部分呈閥門關(guān)閉的狀態(tài)、右半部分呈閥門打開的狀態(tài)。

圖2表示上述實施方式中的主要部分的縱向剖視圖。

【符號說明】

1：閥體部，2：閥驅(qū)動部，11：流路，12：第一閥口，13：第二 閥口，14：開閉件，15：推桿，16：閥座，18：貫通孔，20：缸體 部，21：套管，22：活塞，23、24：活塞室，30：軸封，31：潤滑 脂槽，32、33：密封部件，35：刮板，36：密封用墊圈，37：通孔