[發明專利]高真空閥

有效

• 申請號: 200910174147.1
• 申請日: 2009-09-30
• 公開（公告）號: CN101713463A
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 櫻井豐信;神坂育男
• 申請（專利權）人: SMC株式會社
• 主分類號: F16K1/00
• 分類號: F16K1/00;F16K27/02;F16K41/00;F16K31/124
• 代理公司: 北京華夏正合知識產權代理事務所 11017
• 代理人: 韓登營;栗濤

1.一種高真空閥，包括：閥體部和閥驅動部，在所述閥體部中設置有閥座，該閥座位于形成在第一閥口和第二閥口之間的流路中，所述閥體部中還設置有開閉件，通過所述開閉件與所述閥座的接合或分離，以此來開閉所述流路；所述閥驅動部用于驅動連結在推桿頂端的開閉件來開閉閥座，由驅動機構驅動的推桿貫穿所述閥體部中面向閥座的流路壁，插入所述流路中，所述推桿與所述流路壁之間保持密封狀態，其特征在于：

在所述閥體部的流路壁上供所述推桿貫通的貫通孔內設置有潤滑脂槽，在所述貫通孔內靠近潤滑脂槽的所述流路一側設置有用來保持潤滑脂的密封部件，而在所述貫通孔內靠近潤滑脂槽的另一側設置有用來真空密封的密封部件，由此在所述貫通孔中形成軸封，所述潤滑脂槽的軸向長度與所述開閉件的最大行程相同或大于該最大行程，

上述潤滑脂槽兩端的密封部件設置成：在開閉件開或閉的任意一個行程中，推桿表面的與潤滑脂槽接觸的部分能夠接觸到所述密封部件的其中之一，

在所述貫通孔內的流路一側端設置有刮板。

2.根據權利要求1所述的高真空閥，其特征在于：

用來驅動所述開閉件的驅動機構為如下結構：所述推桿的頂端與所述開閉件連結，所述推桿的另一端從所述流路壁伸入到套管內的缸體部內，與收納在所述缸體部內可以滑動的活塞相連接，由供排到所述缸體部內的先導流體的壓力再通過所述活塞和推桿來驅動所述開閉件。

3.根據權利要求2所述的高真空閥，其特征在于：

將所述缸體部的至少活塞的推桿連結側的活塞室用作于供排先導流體的壓力的壓力室，在供所述推桿貫穿的貫通孔的所述壓力室側端設置用來密封該壓力室的墊圈，并使該用來密封壓力室的墊圈和真空密封用密封部件之間的空間通過通孔朝向外部開口，其中，真空密封用密封部件位于所述貫通孔內靠近潤滑脂槽的所述壓力室一側，所述通孔用來使從上述壓力室經所述用來密封壓力室的墊圈而漏出的空氣溢出。?