[發明專利]基板傳輸系統及其基板取出方法

有效

• 申請號: 200910172022.5
• 申請日: 2009-09-03
• 公開（公告）號: CN101659346A
• 公開（公告）日: 2010-03-03
• 發明（設計）人: 楊奇樺;陳宏偉
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: B65G1/04
• 分類號: B65G1/04;B65G49/06;B65D85/48;B25J15/00;B25J15/06;G02F1/1333
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司
• 代理人: 梁 揮;祁建國

1.一種基板傳輸系統，用以存取多個基板，其特征在于，該基板傳輸系統包含：

一卡匣，用以存放該基板，包含：

一本體，具有相對設置的一第一壁與一第二壁；

多對第一支撐元件，該第一支撐元件的其中任一對分設于該第一壁及該第二壁以構成存放該基板的多個第一承載面的其中之一，該第一支撐元件沿與該第一承載面垂直的一方向設置以構成一第一儲存區，且沿該方向的相鄰兩第一支撐元件具有一第一距離；及

多對第二支撐元件，該第二支撐元件的其中任一對分設于該第一壁及該第二壁以構成存放該基板的多個第二承載面的其中之一，該第二支撐元件沿該方向設置以構成鄰設于該第一儲存區的一第二儲存區，且沿該方向的相鄰兩第二支撐元件具有一第二距離，沿該方向的相鄰的該第一支撐元件與該第二支撐元件之間具有一第三距離，該第三距離大于該第一距離及該第二距離；以及

一搬運裝置，鄰設于該卡匣，且具有至少一搬運單元適于伸入該卡匣以存取該基板，

其中，該第一距離與該第二距離分別大于該搬運單元的一上移距離，且該上移距離適于使各基板脫離相對應的各對第一支撐元件或相對應的各對第二支撐元件支撐的一向上距離，該第一距離與該第二距離大于該基板的厚度。

2.根據權利要求1所述的基板傳輸系統，其特征在于，該本體更具有一第三壁，其分別與該第一壁與該第二壁連接。

3.根據權利要求2所述的基板傳輸系統，其特征在于，還包含：

多個輔助支撐元件，該輔助支撐元件設置于該第三壁，且與相對應的各對第一支撐元件共同構成相對應的各第一承載面或與相對應的各對第二支撐元件共同構成相對應的各第二承載面，且該輔助支撐元件沿該方向設置于該第三壁。

4.根據權利要求3所述的基板傳輸系統，其特征在于，各輔助支撐元件為連續長條狀。

5.根據權利要求1所述的基板傳輸系統，其特征在于，該第一距離等于該第二距離。

6.根據權利要求1所述的基板傳輸系統，其特征在于，該第一支撐元件的其中任一對或該第二支撐元件的其中任一對適于接觸相對應的該基板的一抵靠表面以支撐該基板。

7.根據權利要求6所述的基板傳輸系統，其特征在于，該搬運單元適于接觸該基板的該抵靠表面以存取該基板。

8.根據權利要求1所述的基板傳輸系統，其特征在于，該搬運單元具有至少一牙叉，且該牙叉的厚度介于該第三距離與該第一距離之間，或介于該第三距離與該第二距離之間。

9.一種基板傳輸系統的基板取出方法，其特征在于，包含以下步驟：

提供一卡匣，該卡匣具有鄰設的一第一儲存區與一第二儲存區，該第一儲存區具有多對第一支撐元件以構成存放該基板的多個第一承載面，沿與該第一承載面垂直的一方向的相鄰兩第一支撐元件具有一第一距離，該第二儲存區具有多對第二支撐元件以構成存放該基板的多個第二承載面，沿該方向的相鄰兩第二支撐元件具有一第二距離，沿該方向相鄰的該第一支撐元件與該第二支撐元件間具有一第三距離，其中該第三距離大于該第一距離及該第二距離；

提供具有至少一搬運單元的一搬運裝置，并將該搬運單元伸入該第一儲存區；以及

由該搬運單元依序自該第一儲存區的底部至該第一儲存區的頂部取出該基板，其中該搬運單元分別移動一上移距離使位于該第一儲存區的各基板脫離相對應的各對第一支撐元件支撐，且該上移距離小于該第一距離，該第一距離與該第二距離大于該基板的厚度。

10.根據權利要求9所述的基板傳輸系統的基板取出方法，其特征在于，該第一距離等于該第二距離。

11.根據權利要求9所述的基板傳輸系統的基板取出方法，其特征在于，該搬運單元以真空吸附或靜電吸附方式承載與移動該基板。

12.根據權利要求9所述的基板傳輸系統的基板取出方法，其特征在于，在由該搬運單元依序自該第一儲存區的底部至該第一儲存區的頂部取出該基板步驟之前，該第一支撐元件的其中任一對接觸相對應的該基板的一抵靠表面以支撐該基板。

13.根據權利要求12所述的基板傳輸系統的基板取出方法，其特征在于，在由該搬運單元依序自該第一儲存區的底部至該第一儲存區的頂部取出該基板步驟中，該搬運單元接觸該基板的該抵靠表面以取出該基板。

14.根據權利要求9所述的基板傳輸系統的基板取出方法，其特征在于，該搬運單元具有至少一牙叉，且該牙叉的厚度介于該第三距離與該第一距離之間，或介于該第三距離與該第二距離之間。