[發(fā)明專利]基板搬送裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910171530.1
• 申請(qǐng)日: 2009-08-28
• 公開（公告）號(hào): CN101661222A
• 公開（公告）日: 2010-03-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 相馬康孝;八尋俊一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/00
• 分類號(hào): G03F7/00;B65G49/06;B65G13/00;B65G39/00;B65G39/04
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 龍 淳

1.一種基板搬送裝置，對(duì)涂敷有處理液、被實(shí)施熱處理的被處理 基板進(jìn)行搬送，其特征在于，包括：

搬送滾子，在所述被處理基板的寬度方向延伸，并且被軸支承而 能夠在基板搬送方向旋轉(zhuǎn)，在基板搬送方向隔開規(guī)定間隔鋪設(shè)；

旋轉(zhuǎn)軸，對(duì)所述搬送滾子進(jìn)行軸支承；和

驅(qū)動(dòng)單元，對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，

所述搬送滾子的外周面形成為在軸方向相連續(xù)的凹凸形狀，

所述外周面上的軸方向的凸部頂端做成曲率半徑為3mm以下的尖 頂，

在所述搬送滾子的被形成為凹凸形狀的外周面上，在軸方向相連 續(xù)的凸部頂端間的距離尺寸至少為2mm以上、8mm以下。

2.如權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于：

在所述搬送滾子的被形成為凹凸形狀的外周面上，相對(duì)于所述凸 部頂端的凹部的深度尺寸至少為1mm以上。

3.如權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于：

所述搬送滾子構(gòu)成為，在軸方向具有規(guī)定長(zhǎng)度的多個(gè)筒狀滾子部 件被安裝在所述旋轉(zhuǎn)軸上，并且各滾子部件與相鄰的滾子部件連接，

多個(gè)所述滾子部件的外周面構(gòu)成所述搬送滾子的外周面，

所述搬送滾子的一端的滾子部件對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軸固定，其它的滾子 部件只對(duì)所連接的相鄰的滾子部件固定。

4.如權(quán)利要求3所述的基板搬送裝置，其特征在于：

所述滾子部件，其一端形成為陽(yáng)螺紋狀，并且另一端形成為陰螺 紋狀，所述滾子部件分別通過螺紋緊固與相鄰的滾子部件相互連接。

5.如權(quán)利要求4所述的基板搬送裝置，其特征在于：

在所述搬送滾子中，與固定在所述旋轉(zhuǎn)軸上的所述一個(gè)滾子部件 連接的多個(gè)滾子部件，分別通過在與所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)方向相反的方 向旋轉(zhuǎn)而與相鄰的滾子部件螺紋緊固。

6.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的基板搬送裝置，其特征在于：

在所述搬送滾子中，外周面上形成有凹凸形狀的部分的軸方向的 長(zhǎng)度尺寸至少為在所述被處理基板上涂敷有處理液的有效區(qū)域的寬度 以上。

7.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的基板搬送裝置，其特征在于：

所述搬送滾子在所述基板搬送方向隔開規(guī)定間隔鋪設(shè)有多個(gè)，在 多個(gè)所述搬送滾子的外周面上形成的在軸方向相連續(xù)的凹凸形狀被交 錯(cuò)配置，使得在相鄰的搬送滾子間凹凸的位置不同。