[發明專利]基板搬送裝置

無效

• 申請號: 200910171530.1
• 申請日: 2009-08-28
• 公開（公告）號: CN101661222A
• 公開（公告）日: 2010-03-03
• 發明（設計）人: 相馬康孝;八尋俊一
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;B65G49/06;B65G13/00;B65G39/00;B65G39/04
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍 淳

技術領域

本發明涉及一種對平板顯示器(FPD)用的玻璃基板等被處理基板 進行搬送的基板搬送裝置，尤其涉及在加熱裝置中以平流方式搬送被 實施熱處理的被處理基板的基板搬送裝置。

背景技術

在FPD的制造中，為了在FPD用的玻璃基板上形成電路圖案而使 用光刻技術。利用光刻技術形成電路圖案按照以下步驟進行，即，在 玻璃基板上涂敷作為處理液的抗蝕液，形成抗蝕劑膜，以與電路圖案 對應的方式將抗蝕劑膜曝光，對其進行顯影處理。

在光刻技術中，一般在形成抗蝕劑膜和顯影處理后，為了使抗蝕 劑膜干燥，對玻璃基板實施加熱處理。

在上述加熱處理中，作為搬送玻璃基板的手段，有如下的滾子搬 送方式，即，將玻璃基板的兩端載置在具有旋轉軸的多個搬送輥上， 通過該搬送輥的旋轉搬送基板。

但是，由于近年來玻璃基板的大型化，存在僅僅載置長方形的玻 璃基板的兩端這兩邊會使基板彎曲成凹狀的問題。

因此，如專利文獻1等的記載(參照圖7)，不僅是支承基板G的 兩端的搬送滾子50，在基板G的中央附近，也通過搬送滾子51(支承 輥)輔助地支承基板G，以免使其彎曲成凹狀。

【專利文獻1】日本專利第3960087號公報

但是，存在如下問題，即，通過搬送滾子直接對在玻璃基板上形 成有抗蝕劑膜的有效區域(的正下方)進行支承時，由于搬送滾子具 有的熱容量的影響，在搬送滾子接觸的部分與不接觸的部分之間，抗 蝕劑膜的干燥速度產生差異，在抗蝕劑干燥后，在抗蝕劑膜上產生斑 點。

發明內容

本發明是在上述情況下完成的發明，其目的在于提供一種基板搬 送裝置，該基板搬送裝置對涂敷有處理液、被實施熱處理的被處理基 板進行搬送，抑制在熱處理后的處理膜上產生轉印斑。

為了解決上述問題，本發明的基板搬送裝置，對涂敷有處理液、 被實施熱處理的被處理基板進行搬送，其特征在于，包括：搬送滾子， 在所述被處理基板的寬度方向延伸，并且被軸支承而能夠在基板搬送 方向旋轉，在基板搬送方向隔開規定間隔鋪設；旋轉軸，對所述搬送 滾子進行軸支承；和驅動單元，對所述旋轉軸進行旋轉驅動，所述搬 送滾子的外周面形成為在軸方向相連續的凹凸形狀，所述外周面上的 軸方向的凸部頂端做成曲率半徑為3mm以下的尖頂。

通過如上所述構成，能夠使搬送滾子的外周面與被處理基板點接 觸，能夠不使搬送滾子具有的熱量通過接觸部分傳遞給基板，或者能 夠將熱傳遞分散。

因此，能夠使從搬送滾子傳遞給被處理基板的熱量均勻且極小， 能夠防止搬送滾子引起的在處理膜上產生轉印斑。

另外，優選在所述搬送滾子的被形成為凹凸形狀的外周面上，在 軸方向相連續的凸部頂端間的距離尺寸至少為2mm以上，相對于所述 凸部頂端的凹部的深度尺寸至少為1mm以上。

通過如上規定凸部頂端間的距離尺寸和凹部的深度尺寸，能夠使 搬送滾子對基板的接觸部和非接觸部相接近，使從搬送滾子向基板的 熱傳遞量均勻(使熱傳遞量的差減小)，能夠去除轉印斑。

另外，所述搬送滾子，在軸方向具有規定長度的多個筒狀滾子部 件被安裝在所述旋轉軸上，并且各滾子部件與相鄰的滾子部件連接， 所述搬送滾子的一端的滾子部件對所述旋轉軸固定，其它的滾子部件 只對所連接的相鄰的滾子部件固定。

通過如上所述構成，在搬送滾子被加熱而產生熱膨脹時，從沒有 被固定在旋轉軸上的搬送滾子的端部側在軸方向上伸長。而且，在返 回常溫時產生熱收縮時，能夠從伸長的搬送滾子的端部側收縮，恢復 到原來的狀態。

因此，即使搬送滾子被加熱和冷卻而產生膨脹伸縮，也不產生外 周面部的彎曲或滾子部件彼此的接縫的間隙等，對抑制轉印斑沒有壞 的影響。

另外，優選所述滾子部件，其一端形成為陽螺紋狀，并且另一端 形成為陰螺紋狀，所述滾子部件分別通過螺紋緊固與相鄰的滾子部件 相互連接。

通過上述的螺紋緊固，滾子部件彼此連接，由此能夠不產生連接 部分的間隙。

另外，優選在所述搬送滾子中，與固定在所述旋轉軸上的所述一 個滾子部件連接的多個滾子部件，分別通過在與所述旋轉軸的旋轉方 向相反的方向旋轉而與相鄰的滾子部件螺紋緊固。