[發(fā)明專利]一種制備金屬鈀合金膜的化學(xué)共沉積方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910169510.0
• 申請(qǐng)日: 2009-09-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102011109A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐恒泳;曾高峰;史蕾;安德里斯·歌德巴赫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所
• 主分類號(hào): C23C18/48
• 分類號(hào): C23C18/48
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 周長(zhǎng)興

1.一種制備鈀合金膜的化學(xué)共沉積方法，在化學(xué)鍍金屬鈀的過(guò)程中將摻雜金屬的絡(luò)合物溶液添加到金屬鈀的鍍液中。

2.如權(quán)利要求1所述的制備鈀合金膜的化學(xué)共沉積方法，其中，摻雜金屬為：銀、釕、金或/和鎳。