[發(fā)明專利]基板處理裝置及在基板處理裝置中使用的基板搬運裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910169141.5
• 申請日: 2009-09-11
• 公開（公告）號: CN101673665A
• 公開（公告）日: 2010-03-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 光吉一郎;村元僚
• 申請（專利權(quán)）人: 大日本網(wǎng)屏制造株式會社
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/677;H01L21/687;B65G49/00;B65G49/06;B65G49/07
• 代理公司: 隆天國際知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 郭曉東;馬少東

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對多張基板一起進(jìn)行處理的基板處理裝置以及該基板處理裝置具有的基板搬運裝置。成為處理或者搬運對象的基板包括例如半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用基板、等離子顯示器用基板、FED(Field?Emission?Display：場發(fā)射型顯示器)用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板、光掩模用基板等。?

背景技術(shù)

在使用藥液對半導(dǎo)體晶片等基板實施處理的基板處理裝置中，存在對多張基板一起進(jìn)行處理的批式的基板處理裝置。在JP特開平11-354604號公報中公開了批式的基板處理裝置的一個例子。該基板處理裝置具有傳送器裝載部、水平運載機械手、姿勢變換機構(gòu)、推動器(pusher)、主搬運機構(gòu)和基板處理部。?

傳送器裝載部裝載有傳送器(容置容器)，該傳送器將多張基板保持為以水平姿勢層疊在垂直方向上的狀態(tài)。?

水平運載機械手由垂直多關(guān)節(jié)臂式的搬運機械手構(gòu)成，能夠使多關(guān)節(jié)臂伸縮并且繞著鉛垂軸線旋轉(zhuǎn)。由此，水平運載機械手使多關(guān)節(jié)臂朝向傳送器，相對于該傳送器搬入搬出以水平姿勢層疊在垂直方向上的多張基板，而且，水平運載機械手使多關(guān)節(jié)臂朝向姿勢變換機構(gòu)，相對于該姿勢變換機構(gòu)交接以水平姿勢層疊在垂直方向上的多張基板。?

水平運載機械手具有能夠在多關(guān)節(jié)臂上裝拆的批次手部和單張手部。批次手部用于一起搬運多張基板，單張手部用于一張一張地搬運基板。手部的交換通過水平運載機械手接近手部交換部來進(jìn)行。在手部交換部具有3個手部保持架，分別用于保持批次手部、未處理基板用的單張手部和處理后基板的單張手部。對于水平運載機械手，例如在取下批次手部而安裝單張手部時，將批次手部容置在批次手部用手部保持架，并安裝容置在單張手部用手部保持架中的單張手部。由此，不需要人手就能夠自動地交換手部。?

姿勢變換機構(gòu)用于使多張層疊的基板一起在水平姿勢與垂直姿勢間進(jìn)行姿勢變換。?

推動器具有能夠上下運動和水平移動的保持架，在與姿勢變換機構(gòu)間一起交接垂直姿勢的多張基板，以及在與主搬運機構(gòu)間一起交接垂直姿勢的多張基板。保持架以間距為姿勢變換機構(gòu)保持的多張基板的間距的一半的距離保持基板。例如，在從姿勢變換機構(gòu)交給保持架25張基板后，保持架在沿著基板層疊方向的水平方向上移動僅微小距離。在該狀態(tài)下，從姿勢變換機構(gòu)交給保持架另外的25張基板。后來交給的25張基板進(jìn)入之前交給的25張基板之間，從而在保持架上形成由共計50張基板構(gòu)成的一個批次。這樣地將多個基板組進(jìn)行組合而形成一個批次的情況稱為批次組合。在將基板從推動器交給姿勢變換機構(gòu)時，保持在保持架上的50張基板中的25張交給姿勢變換機構(gòu)，在該25張基板姿勢變換為水平姿勢后，交給水平運載機械手。然后，保持架上剩余的25張基板交給姿勢變換機構(gòu)，在姿勢變換為水平姿勢后，由水平運載機械手送出。這樣，50張基板分為各25張的兩個基板組。這樣，將形成一個批次的多張基板分離為多個基板組的情況稱為批次解除。?

主搬運機構(gòu)具有將形成一個批次的多張基板保持為垂直姿勢的基板卡盤，通過使該基板卡盤在水平方向上移動，主搬運機構(gòu)使構(gòu)成一個批次的多張基板搬入/搬出基板處理部。為了清洗基板卡盤，例如，在推動器與主搬運機構(gòu)間的基板交接位置的下方設(shè)置有卡盤清洗單元。?

基板處理部具有沿著主搬運機構(gòu)的移動方向配置的多個處理部。在處理部具有藥液槽、水洗槽和干燥部。藥液槽用于使垂直姿勢的多張基板浸漬在槽內(nèi)存儲的藥液中，來對多張基板一起實施藥液處理。水洗槽用于使垂直姿勢的多張基板浸漬在槽內(nèi)存儲的純水(去離子水)中，來對多張基板一起實施水洗(沖洗)處理。干燥部用于對多張基板一起實施供給有機溶劑(例如，異丙醇)或者甩落液體成分的處理。?

在上述現(xiàn)有技術(shù)的基板處理裝置中，從推動器到主搬運機構(gòu)的基板搬運路徑是一個系統(tǒng)，因此，在向主搬運機構(gòu)送入未處理基板時，不能從主搬運機構(gòu)向推動器送出處理后基板，另外，在送出處理后基板時，不能送入未處理基板。而且，在將未處理基板送入主搬運機構(gòu)時，需要在推動器的保持架上進(jìn)行批次組合動作，因此直至送出處理后基板之前，主搬運機構(gòu)往往不得?不長時間待機。?

考慮追加推動器，一個推動器用于從姿勢變換機構(gòu)至主搬運機構(gòu)的去路搬運，另一個推動器用于從主搬運機構(gòu)至姿勢變換機構(gòu)的回路搬運。但是，若形成這樣的結(jié)構(gòu)，不免要增加裝置的占用面積(占用空間)。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個目的在于提供能夠抑制裝置的占用面積，同時能夠提高基板處理速度的基板處理裝置。?