[發明專利]探針研磨方法、探針研磨用程序及探針裝置

有效

• 申請號: 200910168594.6
• 申請日: 2009-08-25
• 公開（公告）號: CN101659025A
• 公開（公告）日: 2010-03-03
• 發明（設計）人: 田中秀明;佐野聰
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B24B19/16
• 分類號: B24B19/16;B24B51/00;G01R1/073;G01N21/88
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍 淳

1.一種探針研磨方法，其將研磨體從第一收納體搬送到載置臺上載置，并通過所述載置臺使所述研磨體與探針摩擦接觸，研磨所述探針，所述探針研磨方法的特征在于，包括：

將所述研磨體從所述第一收納體搬送到所述載置臺的第一工序；

檢測載置在所述載置臺上的所述研磨體的上表面的異物的第二工序；

在所述研磨體的上表面檢測出異物時，將所述研磨體從所述載置臺搬送到第二收納體的第三工序；

從所述第二收納體的所述研磨體除去異物的第四工序；和

將除去所述異物后的所述研磨體從所述第二收納體搬送到所述第一收納體的第五工序。

2.如權利要求1所述的探針研磨方法，其特征在于，包括：

在所述第二工序中，在所述研磨體的上表面未檢測出所述異物時，將所述研磨體從所述載置臺搬送到所述第一收納體的工序。

3.如權利要求1所述的探針研磨方法，其特征在于：

在所述第二工序中，在所述研磨體的上表面檢測出異物時，對所述研磨體上有異物的情況進行報告。

4.一種探針裝置，包括：載置被檢查體的可移動的載置臺：和配置在所述載置臺的上方且具有多個探針的探針卡，并且構成為：對使所述多個電極墊和所述多個探針接觸而進行所述被檢查體的電特性檢查后的所述多個探針，利用載置在所述載置臺上的研磨體進行研磨并從所述多個探針除去附著物，所述探針裝置的特征在于：

設置有收納所述研磨體的第一收納體，并且設置有對載置在所述載置臺上的所述研磨體的上表面進行攝像的攝像單元，而且設置有暫時收納通過所述攝像單元檢測出異物的所述研磨體的第二收納體。

5.如權利要求4所述的探針裝置，其特征在于：

設置有當通過所述攝像單元在所述研磨體上檢測出異物時，對有異物的情況進行報告的單元。