[發明專利]氯硅烷液的收納容器及該收納容器用封閉蓋

有效

• 申請號: 200910167402.X
• 申請日: 2009-08-12
• 公開（公告）號: CN101649957A
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 佐佐木剛;伊藤孝則
• 申請（專利權）人: 三菱麻鐵里亞爾株式會社
• 主分類號: F17C1/10
• 分類號: F17C1/10;F17C13/04;F17C13/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 嚴志軍;楊 楷

技術領域

本發明涉及氯硅烷液的收納容器及該收納容器用封閉蓋。

本申請針對在2008年8月13日申請的日本國專利申請第 2008-208320號主張優先權，并在此引用其內容。

背景技術

三氯硅烷、四氯硅烷等的氯硅烷類用于多晶硅和硅片的外延膜等 的半導體、光纖的原材料等。通常，在制造工場內將氯硅烷類填充在 容器或氣瓶中，將其搬運至半導體和光纖等的制造工場來使用。這些 氯硅烷類如果與空氣等中包含的水分反應，則產生腐蝕性氣體和二氧 化硅。該腐蝕性氣體和二氧化硅產生腐蝕設備且招致品質的惡化、配 管的堵塞等問題，因而要求容器內的氯硅烷類不與空氣和水接觸。

作為使空氣不與容器內的氯硅烷接觸的提案，一直以來，采用例 如日本特開平5-231598號公報和特開2008-116044號公報所記載的封 閉構造。

在特開平5-231598號公報的氣體填充容器中，為了防止松開閥時 漏出的硅烷氣體在空氣中自燃起火、污染金屬口部、腐蝕金屬口部和 氣體供給系，設置將金屬口部氣密地封閉的帽，并且，在該帽內設有 吸附水分和氧的吸附劑和吸附硅烷氣體的吸附劑。在特開平5-231598 號公報中記載了由該吸附劑將金屬口部和帽內的氣氛置換為以氮氣 等為主要成分的惰性氣體，因而即使硅烷氣體漏出，也能夠抑制腐蝕。

在特開2008-116044號公報中記載了一種泄漏抑制裝置，該泄漏 抑制裝置以包圍與容器的出口開口連接的流體流動部件的方式設置 抑制包圍體，并能夠收集泄漏的反應性氣體。

然而，在液態的氯硅烷類的收納容器中，無法應用以氣體漏出的 防止為課題的上述特開平5-231598號公報及特開2008-116044號公報 的技術。

例如，對于特開平5-231598號公報的氣體填充容器而言，在液態 的氯硅烷泄漏的情況下，無法用吸附劑來吸收。另外，對于特開 2008-116044號公報的裝置而言，其相對于配管連接部的泄漏為有效 的手段，而在產生因閥的密封性惡化而導致的泄漏的情況下，卻不是 有效的手段。

尤其是，氯硅烷類在與空氣接觸時反應，在閥上產生銹，使二氧 化硅附著，妨礙閥的動作。在由封閉蓋封閉閥的端部的情況下，如果 在此間形成的密閉的空間中存在著包含水分的空氣，產生因閥的密封 性的惡化而導致的氯硅烷的泄漏，則產生腐蝕內部等的問題。

本發明是鑒于這種情形而提出的，其目的在于，提供一種能夠以 簡單的構造維持閥的健全性并可靠地防止因內容物的漏出而導致的 腐蝕性氣體的產生的氯硅烷液的收納容器及該收納容器用封閉蓋。

發明內容

用于達成上述目的的本發明的氯硅烷液的收納容器具有收納所 述氯硅烷液的箱、安裝在所述箱上并且外部的配管可裝卸地連接到其 上的閥、以及在所述外部的配管從所述閥脫離時密封所述閥的封閉 蓋，所述閥具有殼以及設在所述殼中的閥體，所述殼具有連接法蘭， 所述連接法蘭具有用于連接所述外部的配管的連接面，所述封閉蓋具 備：具有與所述連接法蘭的所述連接面相接的封閉面的蓋體、用于將 惰性氣體供給至所述封閉蓋和所述閥體之間的所述殼內的空間中的 供給管、開閉所述供給管的供給閥、從所述空間排出氣體的排氣管和 開閉所述排氣管的排氣閥。

依照該發明，由于能夠由與氯硅烷液不反應的惰性氣體充滿形成 于閥的閥體和封閉蓋之間的空間，因而能夠防止腐蝕性氣體和二氧化 硅的產生。而且，由于能夠使該空間與收納容器內相比為正壓，因而 強化閥的密封性并能夠防止從閥的漏出。

另外，本發明的氯硅烷液收納容器用封閉蓋以能夠裝卸的方式安 裝在閥的連接法蘭上，該閥固定在收納氯硅烷液的箱上。上述氯硅烷 液收納容器用封閉蓋具備具有與所述連接法蘭的連接面相接的封閉 面的蓋體、用于將惰性氣體供給至所述封閉蓋和所述閥的閥體之間的 空間中的供給管、開閉所述供給管的供給閥、從所述空間排出氣體的 排氣管、開閉所述排氣管的排氣閥，所述氯硅烷液收納容器用封閉蓋 通過將所述封閉蓋固定在所述連接法蘭上來密封所述空間。

依照本發明的氯硅烷液的收納容器及該收納容器用封閉蓋，由于 抑制了腐蝕性氣體和二氧化硅的產生，因而能夠防止閥周邊的部件的 腐蝕導致的閥的密封性的下降和氯硅烷液的泄漏，并且也能夠降低取 下封閉蓋時的危險性。

附圖說明

圖1是顯示本發明的氯硅烷液的收納容器的一個實施例的模式 圖。