[發明專利]氯硅烷液的收納容器及該收納容器用封閉蓋

有效

• 申請號: 200910167402.X
• 申請日: 2009-08-12
• 公開（公告）號: CN101649957A
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 佐佐木剛;伊藤孝則
• 申請（專利權）人: 三菱麻鐵里亞爾株式會社
• 主分類號: F17C1/10
• 分類號: F17C1/10;F17C13/04;F17C13/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 嚴志軍;楊 楷

1.一種氯硅烷液的收納容器，其具有收納所述氯硅烷液的箱、 安裝在所述箱上并且外部的配管可裝卸地連接到其上的閥、以及在所 述外部的配管從所述閥脫離時密封所述閥的封閉蓋，其中，

所述閥具有殼以及設在所述殼中的閥體，所述殼具有連接法蘭， 所述連接法蘭具有用于連接所述外部的配管的連接面，

所述封閉蓋具備：具有與所述連接法蘭的所述連接面相接的封閉 面的蓋體、用于將惰性氣體供給至所述封閉蓋和所述閥體之間的所述 殼內的空間中的供給管、開閉所述供給管的供給閥、從所述空間排出 氣體的排氣管和開閉所述排氣管的排氣閥。

2.權利要求1所述的氯硅烷液的收納容器，其特征在于，具有： 夾在所述連接法蘭的所述連接面和所述封閉蓋的所述封閉面之間的 墊片、和形成于所述連接面及所述封閉面中的至少一者上的至少一個 環形槽。

3.一種氯硅烷液收納容器用封閉蓋，其以能夠裝卸的方式安裝在 閥的連接法蘭上，所述閥固定在收納氯硅烷液的箱上，

所述氯硅烷液收納容器用封閉蓋具備具有與所述連接法蘭的連 接面相接的封閉面的蓋體、用于將惰性氣體供給至所述封閉蓋和所述 閥的閥體之間的空間中的供給管、開閉所述供給管的供給閥、從所述 空間排出氣體的排氣管、開閉所述排氣管的排氣閥，所述氯硅烷液收 納容器用封閉蓋通過將所述封閉蓋固定在所述連接法蘭上來密封所 述空間。