[發(fā)明專利]濺射靶、光信息記錄介質(zhì)用薄膜及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910166726.1 | 申請日: | 2004-02-03 |
| 公開(公告)號: | CN101650955A | 公開(公告)日: | 2010-02-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 細(xì)野秀雄;植田和茂;矢作政隆;高見英生 | 申請(專利權(quán))人: | 日礦金屬株式會社 |
| 主分類號: | G11B7/257 | 分類號: | G11B7/257;C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司: | 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人: | 樊衛(wèi)民;郭國清 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 濺射 信息 記錄 介質(zhì) 薄膜 及其 制造 方法 | ||
1.一種使用濺射靶形成的光信息記錄介質(zhì)用保護(hù)膜,其中,
所述濺射靶,用于形成光信息記錄介質(zhì)用保護(hù)膜,把以滿足下式的氧化鋅為主要成分的化合物作為主要成分:A、B分別為不相同的3價及以上的陽性元素,其價數(shù)分別為Ka、Kb時,AXBYO(KaX+KbY)/2(ZnO)m,1<m,X≤m,0<Y≤0.9,X+Y=2,且A為銦,相對密度為90%及以上,靶內(nèi)的鋅以外的陽性元素的偏差的范圍為0.5%及以內(nèi),靶內(nèi)的密度的偏差的范圍為3%及以內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光信息記錄介質(zhì)用保護(hù)膜,其特征在于,與反射層或記錄層鄰接來使用。
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