[發明專利]十字吹掃閥和容器組件

有效

• 申請號: 200910166641.3
• 申請日: 2009-08-24
• 公開（公告）號: CN101654171A
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發明（設計）人: C·M·伯特徹;T·A·斯泰德爾;J·E·巴克
• 申請（專利權）人: 氣體產品與化學公司
• 主分類號: B65D83/00
• 分類號: B65D83/00;H01L21/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 劉 鍇;韋欣華

1.一種用于存儲和分配高純度工藝化學制劑的容器和閥-十字 吹掃組件，包含；

(A)用于容納所述高純度工藝化學制劑的容器，其具有用于分配 所述高純度工藝化學制劑以及引入載氣以輔助分配所述高純度工藝 化學制劑的進口和出口；

(B)閥-十字吹掃配件，其包含；

(i)第一閥；和

(ii)第二閥，

上述閥中的一個連接到所述容器的進口，并且上述閥的另一個連 接到上述容器的出口；以及，

(iii)在所述第一和第二閥之間的十字吹掃連接，其在所述 兩閥之間提供了與所述容器獨立的流體流動連接；

其中，每個閥具有；

(a)到所述容器的第一孔；

(b)到用于所述組件外部的流體流動連接的導管的第二孔；和，

(c)到所述十字吹掃連接的第三孔，其在所述閥中與所述第二孔 在軸向間隔第一距離；

(d)閥罩；和

(e)閥桿，其能夠在所述閥罩中向如下兩個位置之一移動：(1) 容器打開和(2)十字吹掃打開-容器關閉；其中，所述閥桿具有三個閥 密封表面：

(I)第一閥密封表面，其被配置來相對第一閥座密封以關閉到所 述容器的第一孔；

(II)其橫截面相對于所述主閥桿橫截面有所放大的第二閥密封 表面，其被配置以相對閥罩的內壁密封，而使所述第二孔對第一孔關 閉；和，

(III)其橫截面相對于所述主閥桿橫截面有所放大的第三閥密 封表面，其被配置以相對所述閥罩的內壁密封，從而與所述第二閥密 封表面在所述十字吹掃連接的第三孔和所述第二孔之間形成流道，其 中所述第二閥密封表面在所述閥桿上與所述第三閥密封表面的軸向 距離至少與在(c)中所述的第一距離一樣大，形成(III)中所述的 流道。

2.權利要求1所述的組件，其中所述閥桿在所述閥桿鄰近所述 第一孔的端部上具有破壞式密封穿刺錐。

3.權利要求1所述的組件，其中所述閥桿螺紋嚙合到所述閥罩， 以通過所述閥桿在所述閥罩中的旋轉而在所述閥罩內軸向地移動到 (1)容器打開和(2)十字吹掃打開-容器關閉的位置。

4.權利要求1所述的組件，其中所述閥罩結構材料選自不銹鋼、 塑料、聚四氟乙烯、四氟乙烯和全氟烷氧基樹脂的共聚物、聚偏二氟 乙烯、聚氯三氟乙烯、聚醚-醚酮或者聚酰亞胺、Monel^tm金屬合金、 Hastelloy^tm金屬合金、Incoloy^tm金屬合金；黃銅、鎳、銅、玻璃、 石英及其組合。

5.權利要求1所述的組件，其中所述閥桿結構材料選自不銹鋼、 塑料、聚四氟乙烯、四氟乙烯和全氟烷氧基樹脂的共聚物、聚偏二氟 乙烯、聚氯三氟乙烯、聚醚-醚酮或者聚酰亞胺、Monel^tm金屬合金、 Hastelloy^tm金屬合金、Incoloy^tm金屬合金；黃銅、鎳、銅、玻璃、 石英及其組合。

6.權利要求1所述的組件，其中所述容器結構材料選自不銹鋼、 塑料、聚四氟乙烯、Monel^tm金屬合金、Hastelloy^tm金屬合金、Incoloy^tm金屬合金；黃銅、鎳、銅、玻璃、石英和其組合。

7.權利要求1所述的組件，其中所述容器進口具有汲取管，其 伸入到所述容器之中并且其末端接近所述容器的底部。

8.權利要求1所述的組件，其具有水平傳感機構，所述機構能 夠指示在所述容器中高純度工藝化學制劑的水平。

9.權利要求1所述的組件，其中所述第二孔(9)的開口和第三 孔的開口的軸向中心沿所述閥罩的軸向長度的間距與所述第二閥密 封表面與第三閥密封表面在所述閥桿上彼此最接近的邊緣的距離相 等。

10.權利要求7所述的組件，其中所述第一閥在所述第一閥的第 一孔處與所述容器進口相連，并且所述第一閥的第二孔與載氣源相 連。