[發明專利]一種原始對中裝置和系統

有效

• 申請號: 200910166484.6
• 申請日: 2009-08-19
• 公開（公告）號: CN101634814A
• 公開（公告）日: 2010-01-27
• 發明（設計）人: 張明;李繼魯;鄒昌;程銀華;劉旭君
• 申請（專利權）人: 株洲南車時代電氣股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00;H01L21/68
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 逯長明;王寶筠

1.一種原始對中裝置，其特征在于，所述裝置上表面開有第一圓槽孔，用于容置晶圓片，所述第一圓槽孔的深度低于晶圓片的厚度；

所述裝置上表面還具有直徑大于第一圓槽孔且與第一圓槽孔同心的標記線，所述裝置上的標記線與光刻板上的標記線在原始對中時重合。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一圓槽孔底面開有直徑小于所述第一圓槽孔的第二圓槽孔，所述第二圓槽孔與容置于第一圓槽孔中的晶圓片圍成空腔；所述第二圓槽孔底面開有第一通孔，所述第一通孔連通所述空腔與真空吸附裝置。

3.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述第一圓槽孔、第二圓槽孔的圓心重合。

4.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置的上表面還具有側壁，所述側壁上水平貫穿有定位螺絲，所述定位螺絲用于對覆蓋在第一圓槽孔上且原始對中后的光刻板定位。

5.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述側壁圍繞第一圓槽孔外側的標記線形成槽孔，所述側壁形成的槽孔為方形或圓形。

6.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述定位螺絲的軸向平行于所述裝置的上表面，且所述定位螺絲部分嵌入所述上表面。

7.如權利要求2-6任一項所述的裝置，其特征在于，所述裝置還開有第二通孔，所述第二通孔的遠端位于原始對中后的光刻板之外，所述第二通孔的近端位于原始對中后的光刻板之內且位于第二圓槽孔之外。

8.如權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述第二通孔為矩形通孔或橢圓形通孔。

9.如權利要求1-6任一項所述的裝置，其特征在于，所述第一圓槽孔外側的標記線和光刻板上的標記線為圓形。

10.一種原始對中系統，其特征在于，包括光刻板和如權利要求1-9任一項所述的原始對中裝置，所述光刻板上具有與光刻板上圖案同心、且能夠與所述原始對中裝置上的標記線重合的標記線。