[發明專利]流量控制裝置

無效

• 申請號: 200910166106.8
• 申請日: 2009-08-11
• 公開（公告）號: CN101725734A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發明（設計）人: 加藤孝
• 申請（專利權）人: CKD株式會社
• 主分類號: F16K7/17
• 分類號: F16K7/17;F16K17/20
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;熊傳芳

技術領域

本發明涉及控制流體流量的流量控制裝置。

背景技術

現有技術中憑借流量控制閥對液體或氣體等流體的流量進行控制是為公眾所知的。在該流量控制閥中，當閥內存在對閥體進行驅動的機構時，來自于作為控制對象的流體的揮發氣體(ガス)成分會透過閥內的膜片，并滯留在驅動機構的周圍。此時，有可能由于該揮發氣體成分的性質而腐蝕驅動機構的構成部件。因此，存在對閥體的驅動機構被上述揮發氣體成分腐蝕進行抑制的流量控制閥(例如，參照專利文件1)。此外，在由電磁致動器驅動的流量控制閥種類中，存在對透過膜片的氣體成分對于致動器或線路等的腐蝕加以抑制的流量控制閥(例如，參照專利文件2)。

另一方面，還存在具有如下構成的流量控制閥(例如，參照專利文件3)，其具有膜片，由被供給到該膜片的一側面的氣體施加操作壓力來調整與另一側面接觸的流體的流量。如圖6所示，在該流量控制閥301中，空氣通過空氣導入端口351流入流出，與膜片311連接的閥體312對應該空氣的操作壓力被驅動。因此，在閥體312隔著膜片311的相反側的空間341內未設置活塞或電磁致動器等閥體312的驅動機構，故而不存在驅動機構會被透過膜片311的揮發氣體成分腐蝕的問題。

【專利文獻1】特開2004-19792號公報

【專利文獻2】特開2003-83468號公報

【專利文獻3】特開2008-202654號公報

發明內容

在上述專利文獻3的流量控制閥中，通過對空氣相對于空氣導入端口351的供給及排出進行控制來調整操作壓力的調節器是必要的，因而包含上述揮發氣體成分的空氣會通過該調節器。因此，出現了新的顧慮，即，調整操作壓力的調節器的構成部件會被透過膜片311的揮發氣體成分腐蝕。

本發明是鑒于上述問題提出的，主要目的在于提供一種流量控制裝置，能夠抑制通過控制流量控制閥的氣體供給及排出來調整流量控制閥的操作壓力的調節器的腐蝕。

為了解決上述問題，本發明第一方面的流量控制裝置的特征在于包括：第一調節器，具有膜片，并通過供給到該膜片的一側面的氣體施加操作壓力來調整與該膜片的另一側面接觸的流體的流量；第二調節器，通過控制上述第一調節器的氣體供給及排出來調整上述操作壓力；氣體通道，使上述氣體在上述第一調節器與上述第二調節器之間流通；縮窄通道，既使得上述第二調節器能夠進行上述操作壓力的調整又使得上述氣體能夠從上述氣體通道排出。

此外，本發明第二方面的流量控制裝置具有：第一調節器，其具有膜片，并通過供給到該膜片的一側面的氣體施加操作壓力來調整與該膜片的另一側面接觸的流體的流量；第二調節器，通過控制上述第一調節器的氣體供給及排出來調整上述操作壓力；氣體通道，使上述氣體在上述第一調節器與上述第二調節器之間流通；縮窄通道，與上述氣體通道連接且具有預定的微小流路面積。

根據上述第一方面和第二方面，由于包括第一調節器和第二調節器，其中，第一調節器具有膜片并通過供給到該膜片的一側面的氣體施加操作壓力來調整與該膜片另一側面接觸的流體流量，第二調節器通過控制上述第一調節器的氣體供給及排出來調整上述操作壓力，因而能夠根據第二調節器所調整的操作壓力通過第一調節器來調整流體的流量。

在此，由于作為流量調整對象的流體與第一調節器具有的膜片接觸，從而存在來自于該流體的揮發氣體成分會透過膜片的情況。于是，該揮發氣體成分與氣體一起經由使該氣體流通以在第一調節器與第二調節器之間調整操作壓力的氣體通道通過第二調節器，因而所擔心的狀況是第二調節器的構成部件會被腐蝕。

就該點而言，由于根據本發明的第一方面，具有既使得上述第二調節器能夠進行上述操作壓力的調整又使得氣體能夠從上述氣體通道排出的縮窄通道，而根據本發明的第二方面，具有與上述氣體通道連接且具有預定的微小流路面積的縮窄通道，因此，通過上述構成一邊使得第二調節器能夠進行操作壓力的調整一邊使得該揮發氣體成分能夠從縮窄通道排出，從而能夠減少通過第二調節器的揮發氣體成分的量。此外，當包含上述揮發氣體成分的氣體以較高的氣壓狀態存在于上述氣體通道內時，即使第二調節器關閉停止，也能夠從縮窄通道排出上述氣體，從而能夠減少與第二調節器接觸的揮發氣體成分的量。所以，能夠抑制對第一調節器的操作壓力進行調整的第二調節器所受到的腐蝕。此外，也可以通過對使氣體在上述第一調節器與上述第二調節器之間流通的氣體通道進行加工來形成縮窄通道，也可以形成從該氣體通道分支的分支通道。此外，該氣體通道不限于連接第一調節器與第二調節器的配管，也可以包含位于上述調節器內部、使氣體流通的內部通道。