[發明專利]流量控制裝置無效
| 申請號： | 200910166106.8 | 申請日： | 2009-08-11 |
| 公開（公告）號： | CN101725734A | 公開（公告）日： | 2010-06-09 |
| 發明（設計）人： | 加藤孝 | 申請（專利權）人： | CKD株式會社 |
| 主分類號： | F16K7/17 | 分類號： | F16K7/17;F16K17/20 |
| 代理公司： | 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204 | 代理人： | 余朦;熊傳芳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 流量 控制 裝置 | ||
1.流量控制裝置，包括：
第一調節器，具有膜片，通過供給到該膜片的一側面的氣體施加操作壓力來調整與該膜片的另一側面接觸的流體的流量；
第二調節器，通過控制所述氣體對所述第一調節器的供給及排出來調整所述操作壓力；
氣體通道，使所述氣體在所述第一調節器與所述第二調節器之間流通；以及
縮窄通道，既使得所述第二調節器能夠進行所述操作壓力的調整又使得所述氣體能夠從所述氣體通道排出。
2.根據權利要求1所述的流量控制裝置，其特征在于，在所述氣體通道中，在所述第二調節器與所述縮窄通道之間具有使氣體只能從所述第二調節器向所述第一調節器的方向流通的止回閥。
3.根據權利要求2所述的流量控制裝置，其特征在于，所述縮窄通道及所述止回閥設置在與所述第二調節器相比更靠近所述第一調節器的位置。
4.根據權利要求3所述的流量控制裝置，其特征在于，所述縮窄通道設置在所述第一調節器上。
5.根據權利要求4所述的流量控制裝置，其特征在于，所述止回閥設置在所述第一調節器上。
6.根據權利要求1所述的流量控制裝置，其特征在于，所述縮窄通道的流路面積是可變的，通過改變該流路面積將所述縮窄通道設為預定的微小流路面積。
7.根據權利要求6所述的流量控制裝置，其特征在于，在所述氣體通道中，在所述第二調節器與所述縮窄通道之間具有使氣體只能從所述第二調節器向所述第一調節器的方向流通的止回閥。
8.根據權利要求7的流量控制裝置，其特征在于，所述縮窄通道及所述止回閥設置在與所述第二調節器相比更靠近所述第一調節器的位置。
9.根據權利要求8所述的流量控制裝置，其特征在于，所述縮窄通道設置在所述第一調節器上。
10.根據權利要求9所述的流量控制裝置，其特征在于，所述止回閥設置在所述第一調節器上。
11.流量控制裝置，包括：
第一調節器，具有膜片，通過供給到該膜片的一側面的氣體施加操作壓力來調整與該膜片的另一側面接觸的流體的流量；
第二調節器，通過控制所述氣體相對于所述第一調節器的供給及排出來調整所述操作壓力；
氣體通道，使所述氣體在所述第一調節器與所述第二調節器之間流通；以及
縮窄通道，與所述氣體通道連接且具有預定的微小流路面積。
12.根據權利要求11所述的流量控制裝置，其特征在于，在所述氣體通道中，在所述第二調節器與所述縮窄通道之間具有使氣體只能從所述第二調節器向所述第一調節器的方向流通的止回閥。
13.根據權利要求12的流量控制裝置，其特征在于，所述縮窄通道及所述止回閥設置在與所述第二調節器相比更靠近所述第一調節器的位置。
14.根據權利要求13所述的流量控制裝置，其特征在于，所述縮窄通道設置在所述第一調節器上。
15.根據權利要求14所述的流量控制裝置，其特征在于，所述止回閥設置在所述第一調節器上。
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