[發明專利]用于輸送曝光裝置的中間掩模的機器人夾持器

無效

• 申請號: 200910165289.1
• 申請日: 2009-08-14
• 公開（公告）號: CN101727016A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發明（設計）人: 宋旺圭
• 申請（專利權）人: DE&T株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/683
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳貴明

1.一種用于輸送曝光裝置的中間掩模的機器人夾持器，其設置在移動部(41)，所述移動部安裝在曝光裝置上并沿X、Y、Z軸方向和旋轉方向運動，所述機器人夾持器上突出形成有用于支撐中間掩模(1)側面邊緣的一對側面支撐件(421)，以便往返于盒(30)和輪(50)之間時運送中間掩模(1)，所述機器人夾持器還包括用于支撐中間掩模的上面的一對上面支撐件(422)，其特征在于：

當中間掩模(1)設置在所述夾持器(42)上時，在與中間掩模(1)相對的一側面上設置有用于檢測是否安裝了中間掩模(1)的非接觸式傳感器(44)。

2.根據權利要求1所述的用于輸送曝光裝置的中間掩模的機器人夾持器，其特征在于，

在與所述中間掩模(1)對應的所述夾持器(42)的上面形成凹入的傳感器安裝槽(45)，用于插入所述非接觸式傳感器(44)。

3.根據權利要求2所述的用于輸送曝光裝置的中間掩模的機器人夾持器，其特征在于，

與所述上面支撐件(422)鄰接設置一對所述傳感器安裝槽(45)，并使所述傳感器安裝槽(45)隔開設置，非接觸式傳感器(44)分別插在所述傳感器安裝槽(45)的內側。