[發明專利]用于輸送曝光裝置的中間掩模的機器人夾持器

無效

• 申請號: 200910165289.1
• 申請日: 2009-08-14
• 公開（公告）號: CN101727016A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發明（設計）人: 宋旺圭
• 申請（專利權）人: DE&T株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/683
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳貴明

技術領域

本發明涉及一種輸送設置在曝光裝置的中間掩模的自動機械，具體地說，涉及一種輸送曝光裝置的中間掩模的機器人夾持器(robot?gripper)，該夾持器即使沒有物理性接觸也可正確檢測夾持器上是否放著中間掩模(reticle，或投影掩模版)。

背景技術

通常，曝光裝置是指在半導體或TFT?LCD等需要電路工序的生產線上，利用照相機原理，將光照射在中間掩模等的光掩膜上，從而在半導體晶片或TFT?LCD玻璃基板上刻劃電路的裝置。

其中，尤其是在LCD的玻璃基板上刻劃電路的曝光裝置，一般在支撐各種部件的平板上側配置曝光部，分別在曝光部的上下配置中間掩模和玻璃板，從而使中間掩模的圖案經由曝光部刻劃在玻璃表面上。

并且，在上述曝光部的一側包括可旋轉地安裝有多個中間掩模的輪，以使中間掩?？善椒€交替，且在平板的一側包括容納并裝載多個中間掩模的盒(cassette)以及將裝載在盒中的中間掩模供給上述輪且將結束曝光作業的中間掩模再次返回到盒中的自動機(robot，或機器人)。

尤其是，如圖5和6所示，如上所述的在輪和盒之間輸送中間掩模的自動機包括拾取中間掩模1并進行固定的夾持器42，上述夾持器42包括：側面支撐件421，朝主體的前方兩側同時支撐中間掩模1的兩側下部邊緣和與其對應的下面兩側；上面支撐件422，其上下升降，用于固定中間掩模1的上面；以及致動器(actuator)423，用于驅動上述側面支撐件421和上面支撐件422。

并且，在上述夾持器42主體的大致中央部前端設置感應開關43，用于確認夾持器42上是否安裝中間掩模1，一般情況下，上述感應開關43的一端與中間掩模1的外側接觸，且沿上下方向彈性移動，根據此時感應開關43是否移動，來檢測中間掩模是否被安裝。

但是，如上所述的感應開關具有由于彈性恢復至原位的特征，因此，當夾持器將中間掩模放在輪上時，感應開關與中間掩模的接觸被解除，并迅速返回至原位，這時，由于感應開關的彈性恢復力，振動和沖擊傳遞給放在輪上的中間掩模，由于該振動和沖擊，使得中間掩模的設置位置發生微細誤差。

并且，如上所述的中間掩模的位置誤差給要求超精密加工的曝光作業過程帶來致命影響。

發明內容

為了解決上述問題，本發明的目的在于提供一種用于輸送中間掩模的自動機夾持器，該夾持器可最大限度降低通過夾持器輸送的中間掩模被放在輪上時受到的振動和沖擊，且可檢測到是否安裝了中間掩模。

并且，本發明的目的在于防止非接觸式傳感器物理地接觸中間掩模。

并且，本發明的目的在于可簡單檢測出中間掩模以扭曲狀態設置在夾持器上。

為了實現上述目的，本發明提供一種用于輸送中間掩模的自動機夾持器，其設置在安裝于曝光裝置并沿X、Y、Z軸方向和旋轉方向移動的移動部，且突出形成有用于支撐中間掩模側面邊緣的一對側面支撐件，以便往返于盒和輪之間時輸送中間掩模，該夾持器還包括用于支撐中間掩模上面的一對上面支撐件，上述用于輸送中間掩模的機器人夾持器的特征在于：當中間掩模設置在上述夾持器上時，在與中間掩模相對的一側面上設置有用于檢測是否安裝了中間掩模的非接觸式傳感器。

另外，在與上述中間掩模對應的上述夾持器的上面形成凹入的傳感器安裝槽，以便插入上述非接觸式傳感器。

另外，與上述上面支撐件鄰接并間隔設置有一對上述傳感器安裝槽，在上述傳感器安裝槽中分別插入非接觸式傳感器。

從而，本發明提供一種用于輸送中間掩模的夾持器，該夾持器可最大限度降低通過夾持器輸送的中間掩模被放在輪上時受到的振動和沖擊，且可檢測是否安裝了中間掩模，從而，在將安裝在夾持器的中間掩模放在輪的過程中，其可防止中間掩模的位置由于振動和沖擊而出現的微小移動，從而中間掩模被放在輪上時可被更加正確地設置，并且可提高加工精度，降低不良率。

并且，本發明形成有傳感器安裝槽，防止了非接觸式傳感器與中間掩模物理性接觸，從而消除了非接觸式傳感器與中間掩模之間的干涉，可更加順利地將中間掩模安裝在夾持器上。

另外，本發明形成有相互隔開設置的一對傳感器安裝槽，可簡便檢測出中間掩模是否以扭曲狀態安裝在夾持器上，從而更加正確地檢測出中間掩模狀態。

附圖說明

圖1是本發明涉及的曝光裝置的一立體圖。

圖2是圖1的正視圖。

圖3是本發明一實施例涉及的夾持器的放大立體圖。

圖4是圖3的B部分的放大截面圖。

圖5是現有的用于輸送中間掩模的機器人夾持器的放大立體圖。

圖6是圖5的A部分的放大截面圖。

附圖標記