[發明專利]驅動裝置及固晶機

有效

• 申請號: 200910163324.6
• 申請日: 2009-08-13
• 公開（公告）號: CN101996915A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 盧彥豪;古乃銘
• 申請（專利權）人: 威控自動化機械股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/68;H01L21/50;H01L33/00
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 王青芝;郭鴻禧

1.一種驅動裝置，用來達成快速及準確的對象移動，該驅動裝置包含：

驅動裝置本體；

驅動負載板，該驅動負載板設置于該驅動裝置本體的一側；

第一驅動模塊，該第一驅動模塊裝設于該驅動裝置本體上，且帶動該驅動負載板產生第一位移；以及

第二驅動模塊，該第二驅動模塊裝設于該驅動裝置本體上，且帶動該驅動負載板產生第二位移；

其中，該第一位移的位移速度大于該第二位移，且第二位移的位移精度大于第一位移。

2.如權利要求1所述的驅動裝置，其中該第一驅動模塊包括驅動單元及撓性傳動件，該撓性傳動件通過該驅動單元產生該第一位移。

3.如權利要求2所述的驅動裝置，其中，該第一驅動模塊還包括至少兩轉軸，且該輸送帶貼附于該兩轉軸的其中一個，且該兩轉軸的其中一個樞接于該驅動單元，當該驅動單元驅動該轉軸轉動時，該轉軸帶動該輸送帶產生該第一位移。

4.如權利要求1所述的驅動裝置，其中，該第二驅動模塊為線性馬達，且該第二驅動模塊包括定子單元及動子單元，該動子單元設置于該定子單元的內側。

5.如權利要求4所述的驅動裝置，其中，該動子單元與該驅動負載板連結，且該定子單元驅動該動子單元移動時，使該動子單元帶動該驅動負載板產生該第二位移。

6.如權利要求1所述的驅動裝置，其中，該驅動負載板具有連接部，該連接部與該撓性傳動件連接，且該驅動單元驅動該撓性傳動件移動時，該撓性傳動件帶動該驅動負載板產生該第一位移。

7.如權利要求1所述的驅動裝置，其中，該第一位移平行于該第二位移。

8.一種固晶機，其包含：

平臺；

驅動裝置，設置于該平臺上，其包含；

驅動裝置本體；

驅動負載板，該驅動負載板設置于該驅動裝置本體的一側；

第一驅動模塊，該第一驅動模塊裝設于該驅動裝置本體上，且帶動該驅動負載板產生第一位移；以及

第二驅動模塊，該第二驅動模塊裝設于該驅動裝置本體上，且帶動該驅動負載板產生第二位移；

固晶臂，該固晶臂設置于該驅動負載板上；以及

量測單元，該量測單元設置于該驅動裝置本體的一側，且該量測單元量測該驅動負載板的位移；

其中，該第一位移的位移速度大于該第二位移，且第二位移的位移精度大于第一位移。

9.如權利要求8所述的固晶機，其中，該第一驅動模塊包括驅動單元及撓性傳動件，該撓性傳動件通過該驅動單元產生第一位移。

10.如權利要求9所述的固晶機，其中，該第一驅動模塊更可以包括至少兩轉軸，且該撓性傳動件貼附于該兩轉軸的其中一個，而該兩轉軸的其中一個樞接于該驅動單元，當該驅動單元驅動該轉軸轉動時，該轉軸帶動該撓性傳動件產生該第一位移。

11.如權利要求8所述的固晶機，其中，該第二驅動模塊為線性馬達，且該第二驅動模塊包括定子單元及動子單元，該動子單元設置于該定子單元的內側。

12.如權利要求11所述的固晶機，其中，該動子單元與該驅動負載板連結，且該定子單元驅動該動子單元移動時，使該動子單元帶動該驅動負載板產生該第二位移。

13.如權利要求8所述的固晶機，其中，該驅動負載板具有連接部，該連接部與該撓性傳動件連接，且該驅動單元驅動該撓性傳動件移動時，該撓性傳動件帶動該驅動負載板產生該第一位移。

14.如權利要求8所述的固晶機，其中，該量測單元為光學尺。