[發明專利]集成電容

無效

• 申請號: 200910162083.3
• 申請日: 2009-08-11
• 公開（公告）號: CN101661932A
• 公開（公告）日: 2010-03-03
• 發明（設計）人: 鄭道;陳文淋
• 申請（專利權）人: 聯發科技股份有限公司
• 主分類號: H01L27/02
• 分類號: H01L27/02;H01L29/92;H01L23/528
• 代理公司: 北京萬慧達知識產權代理有限公司
• 代理人: 葛 強;張一軍

1.一種集成電容，包含：

第一梳形金屬結構；

第二梳形金屬結構，與上述第一梳形金屬結構交錯；以及

曲形金屬結構，設置于上述第一梳形金屬結構與上述第二梳形金屬結構之間的空間內。

2.如權利要求1所述的集成電容，其特征在于，介電層位于上述第一梳形金屬結構，上述第二梳形金屬結構，以及上述曲形金屬結構之間。

3.如權利要求1所述的集成電容，其特征在于，上述第一梳形金屬結構與上述第二梳形金屬結構電耦接至第一極性，而上述曲形金屬結構電耦接至與上述第一極性相反的第二極性。

4.如權利要求1所述的集成電容，其特征在于，上述第一梳形金屬結構與上述第二梳形金屬結構，以及上述曲形金屬結構是同一金屬互連層的金屬線。

5.如權利要求1所述的集成電容，其特征在于，上述第一梳形金屬結構、上述第二梳形金屬結構以及上述曲形金屬結構是由堆疊金屬線與過孔形成的金屬板。

6.一種集成電容，包含：

柵欄形的外金屬結構，包圍內金屬結構以及介電層，上述介電層位于上述外金屬結構與上述內金屬結構之間。

7.如權利要求6所述的集成電容，其特征在于，柵欄形的上述外金屬結構包含矩形金屬框以及于上述矩形金屬框內突出的多個指形電極，其中上述內金屬結構具有軌道形結構，其包含垂直金屬線及多個水平金屬線。

8.如權利要求7所述的集成電容，其特征在于，上述垂直金屬線與上述多個水平金屬線互連。

9.如權利要求7所述的集成電容，其特征在于，上述多個水平金屬線與柵欄形的上述外金屬結構的上述多個指形電極相互交錯。

10.如權利要求6所述的集成電容，其特征在于，上述外金屬結構與上述內金屬結構耦接至相反極性。

11.如權利要求6所述的集成電容，其特征在于，上述外金屬結構與上述內金屬結構是同一金屬互連層的金屬線。

12.如權利要求6所述的集成電容，其特征在于，上述外金屬結構與上述內金屬結構是由堆疊金屬線與過孔形成的金屬板。

13.一種集成電容，包含：

第一對鑰匙形金屬結構與第二對鑰匙形金屬結構，其中上述第一對鑰匙形金屬結構與上述第二對鑰匙形金屬結構相互嚙合；以及

介電層，位于上述第一對鑰匙形金屬結構與上述第二對鑰匙形金屬結構之間。

14.如權利要求13所述的集成電容，其特征在于，上述第一對鑰匙形金屬結構耦接至第一極性，而上述第二對鑰匙形金屬結構耦接至與上述第一極性相反的第二極性。