[發明專利]用于光學元件的更換設備

有效

• 申請號: 200910161815.7
• 申請日: 2004-11-30
• 公開（公告）號: CN101614967A
• 公開（公告）日: 2009-12-30
• 發明（設計）人: J·庫格勒;F·索爾格;A·烏爾姆布蘭德;T·伊特納;T·施勒特雷爾
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司SMT股份公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/00;G02B7/02;G02B7/14;G02B7/182;G02B13/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 邱 軍

本申請是申請日為2004年11月30日且發明名稱為“用于光學元件的 更換設備”的中國專利申請No.200480038897.1的分案申請。

技術領域

本發明涉及一種用于光學元件的更換設備，所述光學元件置于光刻物鏡 內的兩個相鄰光學元件之間。此外，本發明涉及一種光刻物鏡。

背景技術

已知光刻物鏡，其中最后的光學元件(也就是說位于與需曝光的晶片最 接近位置處的光學元件)是可更換的。

此外也存在投影物鏡，其中透鏡鏡筒保持在一支承結構中，并且可以被 整體更換。為此，需要破壞物鏡的整體結構。

關于與本發明相關的現有技術，參考文獻US?2002/0167740?A1和US 6449106?B1。

例如，如果光刻物鏡內的光學元件(如透鏡或反射鏡)隨時間過程發生改 變，并且損害了物鏡的性能以致于不能實現其預期壽命，則，應該能夠移走 該物鏡內適當選定的光學元件，由此插入新的經適當加工的光學元件，這樣 補償了其它光學元件的成像誤差。然而，已知的用于更換該最后的光學元件 的方法和設備不適于此目的。

發明內容

因此，本發明的目的是提供一種用于光學元件的更換設備，所述光學元 件安裝在光刻物鏡內的兩個相鄰光學元件之間，并允許進行這種更換。

根據本發明，為此目的提供了一種用于光學元件的更換設備，所述光學 元件安裝在光刻物鏡內的兩個相鄰光學元件之間，所述更換設備具有托架， 所述托架用于要被更換的光學元件，所述托架可以通過光刻物鏡的殼體內的 側面開口移入到所述光刻物鏡內。

該更換設備能夠從光刻物鏡中移走光學元件，并且能夠將另一個與光刻 物鏡中的變化相特定匹配的光學元件再移入到光刻物鏡內。通過這些措施， 可以顯著改善光刻物鏡的成象性能，而對光刻物鏡的結構沒有任何妨礙。所 需要的僅僅是光刻物鏡的殼體中的側面開口，其尺寸大小應使托架能夠移入 到殼體內。此時，托架能夠在光刻物鏡內非常準確地定位光學元件。

根據本發明的更換設備可以特別有利地用在包括多個光學元件的光刻 物鏡中。適用于該目的光刻物鏡具有多個光學元件和至少一個用于安裝在兩 個相鄰光學元件之間的光學元件的更換設備，所述光學元件的更換設備具有 托架，所述托架用于要被更換的光學元件，所述托架可以通過光刻物鏡的殼 體內的側面開口移入到所述光刻物鏡內。

附圖說明

以下，通過使用附圖從原則上說明本發明的各種示例性實施例。

圖1顯示了具有多個光學元件和一更換設備的光刻物鏡；

圖2顯示了從具有第一實施例的更換設備的圖1沿II-II線的截面；

圖3顯示了具有加固元件的光學元件；

圖4顯示了更換設備的第二實施例；

圖5顯示了更換設備的第三實施例；

圖6顯示了光學元件的安裝示意圖；

圖7顯示了用于光刻物鏡的殼體內的開口的密封件的第一實施例；

圖8顯示了用于光刻物鏡的殼體內的開口的密封件的第二實施例；

圖9顯示了更換設備的第四實施例；以及

圖10顯示從圖9按照箭頭X看上去的視圖。

具體實施方式

圖1顯示了具有殼體1a的光刻物鏡1，其中以本身已知的方式布置有多 個光學元件2，如透鏡、板或反射鏡。在這種情況下，光學元件2在光刻物 鏡1中的布置應該被看作是純示例性的。光刻物鏡1可以適合任何類型的光 刻，并且可以是在附圖中未整體顯示的曝光設備的一部分。使用所示的光刻 物鏡1，如下所述，能夠更換光學元件2a，該光學元件2a被安裝或保持在 兩個相鄰光學元件2之間；所述兩個相鄰光學元件2優選地通過各自的支座 3永久地安裝在光刻物鏡1內，并因此是不可更換的。在根據圖2的剖面視 圖中可以觀察到可更換的光學元件2a，其同樣優選為透鏡、板或反射鏡，并 且，其優選地位于光刻物鏡1的光瞳區域內。因此，與其它光學元件2相比， 可更換的光學元件2a可以設計成具有特別小的直徑。然而，該可更換的光 學元件2a可以位于安裝在光刻物鏡1內的兩個相鄰光學元件2之間的任何 其它點處。