[發明專利]用于光學元件的更換設備

有效

• 申請號: 200910161815.7
• 申請日: 2004-11-30
• 公開（公告）號: CN101614967A
• 公開（公告）日: 2009-12-30
• 發明（設計）人: J·庫格勒;F·索爾格;A·烏爾姆布蘭德;T·伊特納;T·施勒特雷爾
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司SMT股份公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/00;G02B7/02;G02B7/14;G02B7/182;G02B13/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 邱 軍

1.一種用于光學元件的更換設備，所述光學元件安裝在光刻物鏡內的 兩個相鄰光學元件之間，該更換設備具有用于要被更換的光學元件的托架， 所述托架可以通過光刻物鏡的殼體內的側面開口移入到所述光刻物鏡內，其 中所述要被更換的光學元件通過均衡安裝而被安裝在光刻物鏡內，其中所述 殼體內的開口能夠被密封件封閉，所述密封件為固體材料的密封件，并且其 中，所述要被更換的光學元件連接至加固元件。

2.一種用于光學元件的更換設備，所述光學元件安裝在光刻物鏡內的 兩個相鄰光學元件之間，該更換設備具有用于要被更換的光學元件的托架， 所述托架可以通過光刻物鏡的殼體內的側面開口移入到所述光刻物鏡內，其 中所述要被更換的光學元件通過均衡安裝而被安裝在光刻物鏡內，其中所述 殼體內的開口能夠被密封件封閉，所述密封件為固體材料的密封件，并且其 中，所述要被更換的光學元件被安置在光刻物鏡內并位于一相鄰光學元件的 支座上。

3.一種用于光學元件的更換設備，所述光學元件安裝在光刻物鏡內的 兩個相鄰光學元件之間，該更換設備具有用于要被更換的光學元件的托架， 所述托架可以通過光刻物鏡的殼體內的側面開口移入到所述光刻物鏡內，其 中所述要被更換的光學元件通過均衡安裝而被安裝在光刻物鏡內，其中所述 殼體內的開口能夠被密封件封閉，所述密封件為固體材料的密封件，并且其 中，在所述光刻物鏡內布置有至少一個彈簧元件，所述彈簧元件沿光軸方向 作用于可更換光學元件上。

4.根據權利要求1-3中的任一項所述的更換設備，其中，所述要被更 換的光學元件被布置在兩個不可更換的光學元件之間。

5.根據權利要求1的更換設備，其中，所述加固元件由與所述要被更 換的光學元件相同的光學材料構成。

6.根據權利要求1的更換設備，其中，所述加固元件通過擠壓連接至 所述要被更換的光學元件。

7.根據權利要求1的更換設備，其中，所述加固元件通過粘結連接至 所述要被更換的光學元件。

8.根據權利要求1-3中的任一項所述的更換設備，其中，所述要被更 換的光學元件被保持在支座內。

9.根據權利要求1-3中的任一項所述的更換設備，其中，所述要被更 換的光學元件被保持在光刻物鏡內的獨立保持結構上。

10.根據權利要求9的更換設備，其中，所述獨立保持結構具有至少一 個致動器。

11.根據權利要求9的更換設備，其中，所述保持結構被保持在光刻物 鏡內的支座中。

12.根據權利要求1-3中的任一項所述的更換設備，其中，所述托架具 有用于該可更換光學元件的導向件。

13.一種光刻物鏡，其具有多個光學元件和至少一個根據權利要求1-3 之一的更換設備，該更換設備用于安裝在兩個相鄰光學元件之間的光學元 件，所述更換設備具有用于要被更換的光學元件的托架，所述托架可以通過 光刻物鏡的殼體內的側面開口移入到所述光刻物鏡內。

14.根據權利要求13的光刻物鏡，其中，所述更換設備布置在所述光 刻物鏡的光瞳區域內。

15.根據權利要求13的光刻物鏡，其中，在更換光學元件之后，所述 托架保留在所述光刻物鏡內。

16.根據權利要求13的光刻物鏡，其中，在更換光學元件之后，所述 托架被從所述光刻物鏡內取出。

17.一種通過使用根據權利要求13的光刻物鏡制備微結構部件的方法。