[發(fā)明專利]具有加熱功能的輸送機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910161168.X
• 申請日: 2009-08-04
• 公開（公告）號: CN101643149A
• 公開（公告）日: 2010-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 山口臣治;屬直彥
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社幸和
• 主分類號: B65G49/00
• 分類號: B65G49/00;B65G49/06;B65G13/00;G02F1/1333;H01L21/677;H01L51/56
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 馬淑香

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于一邊加熱液晶顯示裝置和有機EL顯示裝置等所使用 的玻璃制或樹脂制的工件基板(包括滾筒狀基板)一邊將其轉(zhuǎn)移的、具有加熱功 能的輸送機。

背景技術(shù)

以往，利用輸送機來轉(zhuǎn)移電視機和計算機用的顯示器所使用的玻璃制 或樹脂制的工件基板。例如，專利文獻1披露了這樣的加熱干燥裝置：在 玻璃制等的大型工件基板的下方配置以干燥和燒成等目的對工件基板加熱 用的下側(cè)加熱板，在該下側(cè)加熱板的側(cè)方包括轉(zhuǎn)移上述工件基板用的滾筒。 在該專利文獻1的裝置中，在上述工件基板的上方也配置上側(cè)加熱板，因 此，根據(jù)該專利文獻1的裝置，能在轉(zhuǎn)移工件基板的同時加熱工件基板的 上下兩面。專利文獻2也大致一樣。

專利文獻1：日本專利特開平7-225080號公報

專利文獻2：日本專利特開平11-152575號公報

然而，在專利文獻1等所示的以往的一邊加熱工件基板一邊將其轉(zhuǎn)移 的裝置中，由于利用經(jīng)加熱器加熱的一個金屬板來構(gòu)成上述下側(cè)加熱板， 并利用從該被加熱的一個金屬板輻射出的熱量來加熱工件基板，因此，每 次因技術(shù)革新等而變更工件基板的縱橫尺寸時，都需要單獨地重新制造縱 橫尺寸與上述尺寸被變更的工件基板對應(yīng)的一個金屬板。而且，這種情況 下，如上所述的金屬板在每次改變縱橫尺寸時都需要重新特別訂購，因此 存在帶有加熱功能的輸送機整體的制造成本上升的問題。

在上述以往的帶有加熱功能的輸送機中，如上所述，利用一個金屬板 來構(gòu)成下側(cè)加熱板，因此，在用加熱器等加熱上述一個金屬板時，該金屬 板會產(chǎn)生翹曲或撓曲等大的變形，其結(jié)果是，存在很難對工件基板整體進 行均勻的加熱的問題。

在上述以往的帶有加熱功能的輸送機中，如上所述，利用一個金屬板 來構(gòu)成下側(cè)加熱板，因此，下側(cè)加熱板的重量變大，存在帶有加熱功能的 輸送機的設(shè)置等時操作者的負擔(dān)較大的問題。

在上述以往的帶有加熱功能的輸送機中，如上所述，利用一個金屬板 來構(gòu)成下側(cè)加熱板，因此，為了加熱上述一個金屬板需要較多的熱量，存 在加熱器的驅(qū)動電力被大量消費的問題。

此外，在以往的輸送機中，在不僅對工件基板進行加熱、還欲對其進 行冷卻時，有時分別單獨地設(shè)置僅用于加熱的加熱板和僅用于冷卻的冷卻 板，這種情況下，需要在從加熱工序過渡至冷卻工序時將玻璃基板從加熱 板朝冷卻板移送用的移送裝置。因此，在以往的不僅能對工件基板進行加 熱、還能對其進行冷卻的輸送機中，存在裝置的成本增大、為了設(shè)置加熱 板和冷卻板雙方而導(dǎo)致裝置的地板面積增大等問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于這樣的現(xiàn)有技術(shù)的問題而作，其目的在于提供一種具有加熱功 能的輸送機，其是為了干燥和熱處理等而一邊加熱工件基板一邊將其轉(zhuǎn)移的帶 有加熱功能的輸送機，能極為靈活地以低成本對帶有加熱功能的輸送機的縱橫 尺寸進行變更，以應(yīng)對工件基板的縱橫尺寸的變更，能對轉(zhuǎn)移中的工件基板整 體均勻地加熱，能減輕上述帶有加熱功能的輸送機整體的重量而減輕操作者的 負擔(dān)，并能節(jié)減上述帶有加熱功能的輸送機整體的耗電量。本發(fā)明的目的還在 于提供一種具有加熱功能的輸送機，其能大幅度降低一邊搬運工件基板一邊將 其加熱和冷卻用的裝置的制造成本和尺寸(特別是裝置的地板面積)。