[發明專利]具有加熱功能的輸送機

有效

• 申請號: 200910161168.X
• 申請日: 2009-08-04
• 公開（公告）號: CN101643149A
• 公開（公告）日: 2010-02-10
• 發明（設計）人: 山口臣治;屬直彥
• 申請（專利權）人: 株式會社幸和
• 主分類號: B65G49/00
• 分類號: B65G49/00;B65G49/06;B65G13/00;G02F1/1333;H01L21/677;H01L51/56
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 馬淑香

1.一種具有加熱功能的輸送機，用于使玻璃制或樹脂制的工件基板朝 規定的移動方向移動，其特征在于，包括：

支撐框架，該支撐框架與所述移動方向平行地延伸；

多個擠壓件切塊，該多個擠壓件切塊通過將鋁擠壓件以規定的長度切 斷而形成，所述形成完成后，該多個擠壓件切塊的外側框體的截面分別呈 長方形且內部分別為空洞部，長度方向分別與所述移動方向正交，且分別 以彼此隔開規定間隔排列的狀態配置在所述支撐框架上；

多個旋轉體，該多個旋轉體分別配置在所述各擠壓件切塊之間，與位 于所述擠壓件切塊上方的所述工件基板的下表面接觸而使所述工件基板移 動，所述各旋轉體包括沿與所述移動方向正交的方向延伸的轉軸、突出設 置在該轉軸的多個部位上并與所述工件基板的下表面抵接的滾筒；

一個或多個內側筒狀管，該一個或多個內側筒狀管配置在所述各擠壓 件切塊的各空洞部內，以沿著與所述各擠壓件切塊的長度方向平行的方向 延伸的形態與所述各擠壓件切塊一體形成，在所述一個或多個內側筒狀管 內插入有整體為細長形狀的細長加熱器；

帶狀連接部，該帶狀連接部配置在所述各擠壓件切塊的外側框體與其 內部的所述內側筒狀管之間，與所述外側框體和所述內側筒狀管一體形成， 用于將來自所述細長加熱器的熱量傳遞給所述外側框體；以及

細長加熱器，該細長加熱器插入所述一個或多個內側筒狀管中，整體 形成為細長形狀；

上側蓋，該上側蓋配置在所述各擠壓件切塊之間的各間隙的與所述工 件基板相對的一側，用于堵塞所述各間隙的上方；以及

上側蓋支撐用突出片，從所述各擠壓件切塊的外側框體的所述截面觀 察，所述上側蓋支撐用突出片與所述截面左右的各上端部一體形成，以便 載放所述上側蓋的一端，所述上側蓋支撐用突出片形成為朝與所述各擠壓 件切塊的長度方向正交的方向突出，并沿與所述各擠壓件切塊的長度方向 平行的方向延伸。

2.如權利要求1所述的具有加熱功能的輸送機，其特征在于，包括外 側筒狀管，從所述各擠壓件切塊的外側框體的所述截面觀察，所述外側筒 狀管分別配置于所述截面左右的各側板部的上下方向的中間部分，以沿著 與所述各擠壓件切塊的長度方向平行的方向延伸的形態與所述各擠壓件切 塊一體形成，能供整體形成為細長形狀的細長加熱器插入。

3.如權利要求1所述的具有加熱功能的輸送機，其特征在于，在所述 各擠壓件切塊的外側框體的所述截面上，安裝有用于堵塞所述截面的開口 部的截面用蓋。

4.如權利要求1所述的具有加熱功能的輸送機，其特征在于，包括：

構成用于進行所述工件基板的加熱的加熱區域的多個擠壓件切塊，在 各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至少一個內插入有細 長加熱器；以及

構成用于進行所述工件基板的冷卻的冷卻區域的多個擠壓件切塊，在 各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至少一個內，包括用 于使冷卻水或制冷劑流通的供給部。

5.如權利要求1所述的具有加熱功能的輸送機，其特征在于，包括：

構成用于進行所述工件基板的加熱的加熱區域的多個擠壓件切塊，在 各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至少一個內插入有細 長加熱器；

構成用于進行所述工件基板的冷卻的冷卻區域的多個擠壓件切塊，在 各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至少一個內，包括用 于使冷卻水或制冷劑流通的供給部；以及

加熱控制裝置，該加熱控制裝置用于控制所述旋轉體，以當所述工件 基板在構成所述加熱區域的多個擠壓件切塊上移動時，使所述工件基板在 所述加熱區域的上方、以規定次數或規定時間交替地反復進行朝所述移動 方向移動規定距離的動作和朝與所述移動方向相反的方向移動規定距離的 動作。