[發明專利]基板搬運裝置、基板定位方法及裝置

無效

• 申請號: 200910160320.2
• 申請日: 2009-08-07
• 公開（公告）號: CN101676181A
• 公開（公告）日: 2010-03-24
• 發明（設計）人: 谷口竹志
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G49/07;B65G51/03;B65G13/00;B65G15/00;B65G47/24;G02F1/1333;H01L21/677;H01L21/68
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 郭曉東;馬少東

技術領域

本發明涉及通過向基板的下表面噴出氣體使基板上浮來進行搬運的非接觸方式的基板搬運裝置、基板定位方法及裝置。

背景技術

已知通過向在液晶板或半導體的制造中所使用的基板的下表面噴射壓縮氣體使基板上浮，而在非接觸狀態下搬運基板的裝置。在專利文獻1中提出如下裝置，該裝置設置氣體噴出單元而使基板上浮，在與基板的前進方向平行的基板搬運線路的兩側設置作為基板搬運單元的搬運輥來夾持基板，由此進行搬運。

此外，在專利文獻2中提出如下裝置，該裝置使基板上浮并傾斜，通過設置在所傾斜的基板的下側的單側基板搬運單元進行搬運。

專利文獻1：JP特開2003-292153號公報，

專利文獻2：JP特開2002-308422號公報。

但是，在專利文獻1中所記載的裝置中，不得不以搬運輥夾持基板的兩側，在減小基板的尺寸誤差和撓曲的同時進行搬運。因此，存在為了使兩側的搬運輥緊貼在基板的邊緣上而需要彈簧等施力機構，從而使結構變復雜的問題。

此外，在專利文獻2中所記載的裝置中，限制基板的傾斜角度，使得作用于基板上的重力中的向傾斜方向的分力的大小處在用于使基板作用在下側的搬運輥上的適當的力的大小的范圍內。因此，在上述傾斜角度不與在上游工序或下游工序的裝置中的基板的姿勢匹配的情況下，存在專利文獻2中所記載的裝置不能與上游工序或下游工序的裝置直接組合的問題。

發明內容

本發明是鑒于上述課題而作出的，其目的在于提供基板搬運裝置，上述基板搬運裝置無需采用復雜的結構也能夠使基板作用在搬運單元上和對基板進行定位，且使基板上浮來進行搬運，而且，易于使基板的姿勢與上游工序與下游工序的裝置中基板的姿勢匹配。

此外，本發明的第二目的在于提供在搬運基板時等，無需使用復雜的結構也能夠對基板進行定位的基板定位方法及裝置。

為了解決上述的課題，技術方案1的發明是基板搬運裝置，用于搬運基板，其特征在于，具有：上浮力施加單元，其將在與規定的基準面垂直的第一方向和與上述基準面平行且與上述第一方向垂直的第二方向這兩個方向上具有速度分量而噴出的壓縮氣體，從上述基準面側施加給配置在上述基準面上的基板，由此使上述基板上浮到上述基準面之上，并且對上述基板向上述第二方向施力；搬運單元，其沿著在上述基準面的上述第二方向側規定的大致水平的基準線設置，通過與上述基板的規定的邊緣抵接，并將向與上述基準線平行的基板搬運方向進行搬運的搬運力施加在上述邊緣上，從而將上述基板向上述基板搬運方向搬運。

此外，技術方案2的發明為技術方案1所述的發明的基板搬運裝置，其特征在于，上述基準面大致水平。

此外，技術方案3的發明為技術方案1或技術方案2的發明的基板搬運裝置，其特征在于，上述上浮力施加單元具有多個第一氣體噴出孔，上述第一氣體噴出孔向上述第一方向與上述第二方向的合成方向噴出上述壓縮氣體。

此外，技術方案4的發明為技術方案3所述的發明的基板搬運裝置，其特征在于，上述上浮力施加單元具有多個第二氣體噴出孔，上述第二氣體噴出孔向上述第一方向噴出上述壓縮氣體。

此外，技術方案5的發明為技術方案4所述的發明的基板搬運裝置，其特征在于，上述多個第一氣體噴出孔沿上述第二方向排列，上述多個第二氣體噴出孔沿上述第二方向排列，上述第一氣體噴出孔的排列與上述第二氣體噴出孔的排列沿上述基板搬運方向交替設置。

此外，技術方案6的發明為技術方案4所述的發明的基板搬運裝置，其特征在于，上述多個第一氣體噴出孔沿上述基板搬運方向排列，上述多個第二氣體噴出孔沿上述基板搬運方向排列，上述第一氣體噴出孔的排列與上述第二氣體噴出孔的排列沿上述第二方向交替設置。

此外，技術方案7的發明為技術方案4所述的發明的基板搬運裝置，其特征在于，上述多個第一氣體噴出孔以及上述多個第二氣體噴出孔在與上述基準面平行的面內交錯配置。

此外，技術方案8的發明為技術方案3所述的發明的基板搬運裝置，其特征在于，上述多個第一氣體噴出孔形成在規定的搬運臺的一個臺面上，上述規定的搬運臺的內部具有用于供給上述壓縮氣體的腔室，上述臺面規定上述基準面。

此外，技術方案9的發明為技術方案3所述的發明的基板搬運裝置，其特征在于，上述多個第一氣體噴出孔分別形成在多個長條搬運臺的臺面上，上述多個長條搬運臺的內部具有用于供給上述壓縮氣體的上述腔室，各長度方向配置為與上述第二方向平行的上述多個長條搬運臺沿著上述基板搬運方向排列，以形成臺面排列，上述臺面排列規定上述基準面。