[發明專利]基板搬運裝置、基板定位方法及裝置

無效

• 申請號: 200910160320.2
• 申請日: 2009-08-07
• 公開（公告）號: CN101676181A
• 公開（公告）日: 2010-03-24
• 發明（設計）人: 谷口竹志
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G49/07;B65G51/03;B65G13/00;B65G15/00;B65G47/24;G02F1/1333;H01L21/677;H01L21/68
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 郭曉東;馬少東

1.一種基板搬運裝置，用于搬運基板，其特征在于，具有：

上浮力施加單元，其將在與規定的基準面垂直的第一方向和與上述基準面平行且與上述第一方向垂直的第二方向這兩個方向上具有速度分量而噴出的壓縮氣體，從上述基準面側施加給配置在上述基準面上的基板，由此使上述基板上浮到上述基準面之上，并且對上述基板向上述第二方向施力；

搬運單元，其沿著在上述基準面的上述第二方向側規定的大致水平的基準線設置，通過與上述基板的規定的邊緣抵接，并將向與上述基準線平行的基板搬運方向進行搬運的搬運力施加在上述邊緣上，從而將上述基板向上述基板搬運方向搬運。

2.根據權利要求1所述的基板搬運裝置，其特征在于，

上述基準面大致水平。

3.根據權利要求1所述的基板搬運裝置，其特征在于，

上述上浮力施加單元具有多個第一氣體噴出孔，上述第一氣體噴出孔向上述第一方向與上述第二方向的合成方向噴出上述壓縮氣體。

4.根據權利要求3所述的基板搬運裝置，其特征在于，

上述上浮力施加單元具有多個第二氣體噴出孔，上述第二氣體噴出孔向上述第一方向噴出上述壓縮氣體。

5.根據權利要求4所述的基板搬運裝置，其特征在于，

上述多個第一氣體噴出孔沿上述第二方向排列，

上述多個第二氣體噴出孔沿上述第二方向排列，

上述第一氣體噴出孔的排列與上述第二氣體噴出孔的排列沿著上述基板搬運方向交替設置。

6.根據權利要求4所述的基板搬運裝置，其特征在于，

上述多個第一氣體噴出孔沿上述基板搬運方向排列，

上述多個第二氣體噴出孔沿上述基板搬運方向排列，

上述第一氣體噴出孔的排列與上述第二氣體噴出孔的排列沿著上述第二方向交替設置。

7.根據權利要求4所述的基板搬運裝置，其特征在于，

上述多個第一氣體噴出孔以及上述多個第二氣體噴出孔在與上述基準面平行的面內交錯配置。

8.根據權利要求3所述的基板搬運裝置，其特征在于，

上述多個第一氣體噴出孔形成在規定的搬運臺的一個臺面上，上述規定的搬運臺的內部具有用于供給上述壓縮氣體的腔室，

上述臺面規定上述基準面。

9.根據權利要求3所述的基板搬運裝置，其特征在于，

上述多個第一氣體噴出孔分別形成在多個長條搬運臺的臺面上，上述多個長條搬運臺的內部具有用于供給上述壓縮氣體的上述腔室，

各長度方向配置為與上述第二方向平行的上述多個長條搬運臺沿著上述基板搬運方向排列，以形成臺面排列，

上述臺面排列規定上述基準面。

10.根據權利要求3所述的基板搬運裝置，其特征在于，

上述多個第一氣體噴出孔分別形成在多個長條搬運臺的臺面上，上述多個長條搬運臺的內部具有用于供給壓縮氣體的上述腔室，

各長度方向配置為與基板搬運方向平行的上述多個長條搬運臺沿著上述第二方向排列，以形成臺面排列，

上述臺面排列規定上述基準面。

11.根據權利要求1所述的基板搬運裝置，其特征在于，

上述搬運單元具有多個輥，上述多個輥將上述第一方向作為各自的旋轉軸方向，沿著上述基準線排列并被驅動旋轉。

12.根據權利要求1所述的基板搬運裝置，其特征在于，

上述搬運單元具有無端帶，上述無端帶沿上述基準線延伸并被驅動旋轉。

13.一種基板定位方法，用于定位基板，其特征在于，包括：

第一工序，將在與規定的基準面垂直的第一方向和與上述基準面平行且與上述第一方向垂直的第二方向這兩個方向上具有速度分量而噴出的壓縮氣體，從上述基準面側施加給配置在上述基準面上的基板，由此使上述基板上浮到上述基準面之上，并且對上述基板向上述第二方向施力；

第二工序，使沿著在上述基準面的上述第二方向側規定的大致水平的基準線設置的定位構件與上述基板的規定的邊緣抵接，以限制上述基板的位置。

14.一種基板定位裝置，用于定位基板，其特征在于，具有：

上浮力施加單元，其將在與規定的基準面垂直的第一方向和與上述基準面平行且與上述第一方向垂直的第二方向這兩個方向上具有速度分量而噴出的壓縮氣體，從上述基準面側施加給配置在上述基準面上的基板，由此使上述基板上浮到上述基準面之上，并且對上述基板向上述第二方向施力；

定位構件，其沿著在上述基準面的上述第二方向側規定的大致水平的基準線設置，與上述基板的規定的邊緣抵接來限制上述基板的位置。