[發明專利]一種制備三氧化鎢薄膜的方法

有效

• 申請號: 200910157787.1
• 申請日: 2009-07-27
• 公開（公告）號: CN101608293A
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發明（設計）人: 沈曉彥;趙偉;鄭善亮
• 申請（專利權）人: 新奧科技發展有限公司
• 主分類號: C23C8/12
• 分類號: C23C8/12
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 王 旭

1.一種制備三氧化鎢薄膜的方法，所述方法包括：

第一步驟，將金屬鎢片置于真空管式爐的恒溫區中心，然后將真空管式爐抽取真空以使真空管式爐中的壓力達到2-5帕；

第二步驟，以8-12℃/min的升溫速率將管內溫度升高到140-160℃時，開始通入氧氣，通氣后讓管內壓力緩慢升高，使得在管內溫度以8-12℃/min的升溫速率升高到790-810℃時，管內壓力達到0.7-1.3atm，然后在790-810℃保溫13-17min，之后將溫度自然冷卻到室溫，并且在所述溫度自然冷卻到室溫的同時，通過控制出氣閥的開關讓管內氣體壓力緩慢下降，當溫度降到400-600℃時完全打開出氣閥抽走管內剩余氣體；

其中所述氧氣的流量根據所放置金屬鎢片的總面積設置，其中金屬鎢片的總面積為40-50cm²或190-225cm²，當金屬鎢片的總面積在40-50cm²時，氧氣的流量為50sccm，當金屬鎢片的總面積在190-225cm²時，氧氣的流量為190-210sccm。

2.根據權利要求1所述的制備三氧化鎢薄膜的方法，所述方法包括：

第一步驟，將金屬鎢片置于真空管式爐的恒溫區中心；

第二步驟，以10℃/min的升溫速率將管內溫度升高到150℃時，開始通入氧氣，通氣后讓管內壓力緩慢升高，使得在管內溫度以10℃/min的升溫速率升高到800℃時，管內壓力達到1atm，然后在800℃保溫15min，之后將溫度自然冷卻到室溫。

3.根據權利要求1或2所述的制備三氧化鎢薄膜的方法，所述方法還包括：

在第一步驟之前，所述金屬鎢片被切割。

4.根據權利要求3所述的制備三氧化鎢薄膜的方法，所述切割為線切割。

5.根據權利要求1或2所述的制備三氧化鎢薄膜的方法，其中所述金屬鎢片的純度為99.9％以上。

6.根據權利要求1或2所述的制備三氧化鎢薄膜的方法，所述方法還包括：

在第一步驟之前，對所述金屬鎢片進行包括機械拋光和超聲清洗的前期處理。

7.根據權利要求1或2所述的制備三氧化鎢薄膜的方法，其中所述金屬鎢片為一個或多個。

8.根據權利要求7所述的制備三氧化鎢薄膜的方法，其中所述金屬鎢片為多個的情況下，所述多個金屬鎢片之間留有縫隙以確保與氧的充分接觸。

9.根據權利要求1或2所述的制備三氧化鎢薄膜的方法，其中所述金屬鎢片還包括成卷狀的金屬鎢片。