[發明專利]缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置

無效

• 申請號: 200910157228.0
• 申請日: 2009-07-01
• 公開（公告）號: CN101620190A
• 公開（公告）日: 2010-01-06
• 發明（設計）人: 藏所啟一;鈴木孝治
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G02F1/13
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇;陳立航

技術領域

本發明涉及一種防止在對檢查對象物進行檢查時的過度的檢查從而提高檢查效率的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置。

背景技術

通常，在對檢查對象物進行自動檢查的自動檢查裝置中，因在檢查中發生的接觸不良或灰塵的附著等而造成的缺陷未被與檢查對象物的普通的缺陷區分開，而被直接判斷為缺陷。為了消除這種情況，在不清楚所檢測出的缺陷是因接觸不良等而造成的缺陷還是檢查對象物的普通的缺陷的情況下，反復進行檢查。有專利文獻1作為這種例子。

在該專利文獻1的平板畫質檢查裝置中，當檢測到線缺陷時，啟動接觸重試(contact?retry)裝置，例如反復檢查三次。反復檢查后，如果線缺陷沒有減少，則判斷為次品。

專利文獻1：日本特開2000-146756號公報

發明內容

發明要解決的問題

但是，上述以往的檢查裝置作為次品檢測單元是一種有效的裝置，但是，在連續檢查多個檢查對象物時，檢查效率較差。即、存在如下問題：如果對一個檢查對象物反復檢查三次，則對于一個檢查對象物進行了過度的檢查，從而導致檢查時間變長，檢查效率變差。

本發明的目的在于提供一種抑制檢查對象物的過度的檢查從而提高檢查效率的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置。

用于解決問題的方案

本發明所涉及的缺陷檢查方法是為了解決上述問題而完成的，是一種檢查檢查對象物是否存在缺陷并且連續檢查多個檢查對象物的缺陷檢查方法，其特征在于，在被連續檢查的多個檢查對象物中的同一位置或者其附近位置上檢測出多個相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷而進行排除。

本發明所涉及的缺陷檢查裝置的特征在于，具備：輸送單元，其連續輸送上述檢查對象物；檢查部，其連續檢查由該輸送單元輸送的上述檢查對象物；圖像處理部，其對由該檢查部進行了連續檢查的檢查對象物的圖像進行處理從而檢測缺陷；以及控制部，其在由該圖像處理部在被連續檢查的多個檢查對象物中的同一位置或者其附近位置上檢測出多個相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷而進行排除。

發明的效果

如上所述，根據本發明，在被進行了連續檢查的多個檢查對象物中的相同或者近似位置上檢測出多個相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是因檢查對象物而引起的缺陷而進行排除，因此，能夠抑制檢查對象物的過度的檢查，從而能夠提高檢查效率。

附圖說明

圖1是表示本發明的實施方式所涉及的點亮檢查裝置的控制部中的處理功能的流程圖。

圖2是表示本發明的實施方式所涉及的點亮檢查裝置的立體圖。

圖3是表示本發明的實施方式所涉及的點亮檢查裝置的檢查單元的結構圖。

圖4是表示用本發明的實施方式所涉及的點亮檢查裝置檢測出線缺陷的例子的示意圖。

圖5是表示用本發明的實施方式所涉及的點亮檢查裝置檢測出因灰塵附著而造成的缺陷的例子的示意圖。

附圖標記說明

1：點亮檢查裝置；2：輸送單元；3：檢查單元；6：輸送裝置；7：輥式輸送機(roller?conveyer)；11：攝像裝置；12：圖像處理裝置；13：圖像顯示裝置；14：液晶面板；15：透鏡系統；16：攝像元件；17：面板控制部；18：控制單元；19：暗室；22：LCD面板用電源；23：LCD面板驅動信號發生器；24：鍵盤；25：鼠標；27：缺陷圖像用監視器；28：操作用監視器。

具體實施方式

下面，參照附圖對本發明的實施方式所涉及的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置進行說明。在此，作為檢查對象物以液晶面板為例進行說明。另外，作為用于實施缺陷檢查方法的缺陷檢查裝置以點亮檢查裝置為例進行說明。

如圖2以及圖3所示，點亮檢查裝置1是一種如下的裝置：通過使未圖示的探針(觸頭)與液晶面板的各電極接觸來施加檢查信號，并且點亮背景燈，從而檢查是否存在缺陷，并且連續檢查多個液晶面板。

點亮檢查裝置1主要具備輸送單元2和檢查單元3。

輸送單元2是用于連續輸送液晶面板的單元。該輸送單元2構成為具備輸送裝置6和輸送用機器人(未圖示)。