[發明專利]缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置無效
| 申請號： | 200910157228.0 | 申請日： | 2009-07-01 |
| 公開（公告）號： | CN101620190A | 公開（公告）日： | 2010-01-06 |
| 發明（設計）人： | 藏所啟一;鈴木孝治 | 申請（專利權）人： | 日本麥可羅尼克斯股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所 | 代理人： | 劉新宇;陳立航 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 缺陷 檢查 方法 以及 裝置 | ||
1.一種缺陷檢查方法，該缺陷檢查方法檢查檢查對象物是否存在缺陷并且連續檢查多個檢查對象物，其特征在于，
在被連續檢查的多個檢查對象物中的同一位置或者其附近位置上檢測出多個相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷而進行排除。
2.根據權利要求1所述的缺陷檢查方法，其特征在于，
通過對多個檢查對象物的圖像進行比較處理來檢測是否存在上述相同的缺陷。
3.根據權利要求2所述的缺陷檢查方法，其特征在于，
在上述圖像的預先設定的范圍內檢測是否存在上述相同的缺陷。
4.根據權利要求1所述的缺陷檢查方法，其特征在于，
在多次檢測出上述相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷而進行排除。
5.一種缺陷檢查裝置，該缺陷檢查裝置檢查檢查對象物是否存在缺陷并且連續檢查多個檢查對象物，其特征在于，具備：
輸送單元，其連續輸送上述檢查對象物；
檢查部，其連續檢查由該輸送單元輸送的上述檢查對象物；
圖像處理部，其對由該檢查部進行了連續檢查的檢查對象物的圖像進行處理從而檢測缺陷；以及
控制部，其在由該圖像處理部在被連續檢查的多個檢查對象物中的同一位置或者其附近位置上檢測出多個相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷而進行排除。
6.根據權利要求5所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，
上述控制部通過對多個檢查對象物的圖像進行比較處理來檢測是否存在上述相同的缺陷。
7.根據權利要求5所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，
上述控制部在上述圖像的預先設定的范圍內檢測是否存在上述相同的缺陷。
8.根據權利要求5所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，
上述控制部在多次檢測出上述相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷而進行排除。
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