[發(fā)明專利]方形靶材的取樣方法和檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910149514.2
• 申請日: 2009-06-25
• 公開（公告）號: CN101603886A
• 公開（公告）日: 2009-12-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;陳勇軍;劉慶
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: G01N1/04
• 分類號: G01N1/04;G01N1/32;G01N13/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 吳靖靚;李 麗

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及方形靶材的取樣方法和檢測方法。

背景技術(shù)

一般制備濺射靶材的工藝是將符合濺射靶材性能的金屬經(jīng)塑性成形、粗加工和精加工等工藝，最后加工成尺寸合格的濺射靶材。在濺射靶材的制備工藝完成后，有必要對所述靶材的組織結(jié)構(gòu)進行檢測，以確定靶材濺射的性能。

對金屬靶材的組織結(jié)構(gòu)進行檢測是從靶材上截取小的樣本，然后采用金相顯微鏡對所述樣本進行金相觀察，主要是觀察樣本的組織結(jié)構(gòu)，如晶粒的大小、形狀和取向等是否符合客戶的要求。

一般，對一個靶材來說，截取一個樣本并對其進行金相觀察，就可以獲得靶材的組織結(jié)構(gòu)信息。然而，對于大尺寸的方形靶材(例如長度近似或大于3m，寬度近似或大于1.5m，厚度近似或大于20mm的靶材)而言，由于靶材的尺寸較大，各工藝步驟對靶材各個位置的處理有可能會有些許差異，而導(dǎo)致靶材的不同位置組織結(jié)構(gòu)可能會不同，因此，在大尺寸方形靶材上只截取一個樣本進行檢測顯然是不足以反映整個靶材的組織結(jié)構(gòu)信息的。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題是提供一種方形靶材的取樣方法和檢測方法，以實現(xiàn)大尺寸方形靶材組織結(jié)構(gòu)的檢測。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種方形靶材的取樣方法，包括：提供方形靶材；在所述靶材的厚度方向分層取樣，在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣。

可選的，所述方形靶材的長度大于3m，寬度大于1.5m，厚度大于20mm。

可選的，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材的厚度方向分上中下三層取樣；在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣包括在所述靶材的長邊和寬邊的夾角位置以及所述靶材的中心位置取樣。

可選的，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材的厚度方向分上下兩層取樣；在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣包括在所述靶材的長邊和寬邊的中心位置以及所述靶材的中心位置取樣。

可選的，所述各樣本的長度為10～25mm，寬度為8～20mm，厚度為4～10mm。

為解決上述問題，本發(fā)明實施方式還提供一種方形靶材的檢測方法，包括：提供方形靶材；在所述靶材的厚度方向分層取樣，在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣；對各樣本進行金相觀察。

可選的，對各樣本進行金相觀察包括：對所述樣本進行研磨、拋光和化學(xué)腐蝕處理；用金相顯微鏡觀察所述處理后的樣本的組織結(jié)構(gòu)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述技術(shù)方案通過在方形靶材的厚度方向分層取樣，在長寬方向按邊心邊取樣，然后對所述樣本進行檢測，由于截取的樣本可以反映不同位置的特征，這樣就能夠以較少和較小的樣本獲取整個靶材的組織結(jié)構(gòu)信息，很好地實現(xiàn)了對大尺寸方形靶材的檢測。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實施方式方形靶材的取樣方法的流程圖；

圖2是本發(fā)明實施方式方形靶材的檢測方法的流程圖；

圖3是本發(fā)明對方形靶材進行取樣的一個實施例示意圖；

圖4是本發(fā)明對方形靶材進行取樣的另一個實施例示意圖；

圖5是圖2所示步驟S13的一個實施例流程圖。

具體實施方式

本發(fā)明實施方式在方形靶材的厚度方向分層截取樣本，在長寬方向按邊心邊截取樣本，所述截取的樣本可以分別表征不同位置的組織結(jié)構(gòu)特性，對所述各個樣本進行檢測，就可以獲得整個靶材的組織結(jié)構(gòu)性能。

圖1是本發(fā)明實施方式方形靶材的取樣方法的流程圖，所述方法包括：

步驟S11，提供方形靶材。

步驟S12，在所述靶材的厚度方向分層取樣，在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣。

圖2是本發(fā)明實施方式方形靶材的檢測方法的流程圖，所述方法包括：

步驟S11，提供方形靶材。

步驟S12，在所述靶材的厚度方向分層取樣，在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣。

步驟S13，對各樣本進行金相觀察。

下面結(jié)合附圖和實施例對上述各步驟進行詳細說明。

步驟S11，提供方形靶材。所述方形靶材可以是大尺寸方形靶材，例如，長度近似或大于3m，寬度近似或大于1.5m，厚度近似或大于20mm的方形靶材，可用于制備液晶顯示設(shè)備(LCD)等。所述靶材的材料可以用金屬(例如，鋁、銅、鈦等)或者合金(例如，鋁合金、銅合金、鈦合金等)通過常規(guī)的靶材制備工藝獲得。

步驟S12，在所述靶材的厚度方向分層取樣，在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣。在所述靶材的厚度方向至少分兩層取樣，在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣可以是分別在靶材的長邊和/或?qū)掃呉约鞍胁牡闹行娜印?/p>