[發明專利]方形靶材的取樣方法和檢測方法有效
| 申請號： | 200910149514.2 | 申請日： | 2009-06-25 |
| 公開（公告）號： | CN101603886A | 公開（公告）日： | 2009-12-16 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;潘杰;王學澤;陳勇軍;劉慶 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/04 | 分類號： | G01N1/04;G01N1/32;G01N13/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 吳靖靚;李 麗 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 方形 取樣 方法 檢測 | ||
1.一種方形靶材的取樣方法，其特征在于，包括：
提供方形靶材；
在所述靶材的厚度方向分層取樣，在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣；其中，在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣包括在所述靶材的長邊和寬邊的夾角位置以及所述靶材的中心位置取樣和在所述靶材的長邊和寬邊的中心位置以及所述靶材的中心位置取樣。
2.如權利要求1所述的方形靶材的取樣方法，其特征在于，所述方形靶材的長度大于3m，寬度大于1.5m，厚度大于20mm。
3.如權利要求1所述的方形靶材的取樣方法，其特征在于，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材的厚度方向分上中下三層取樣；在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣包括在所述靶材的長邊和寬邊的夾角位置以及所述靶材的中心位置取樣。
4.如權利要求1所述的方形靶材的取樣方法，其特征在于，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材的厚度方向分上下兩層取樣；在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣包括在所述靶材的長邊和寬邊的中心位置以及所述靶材的中心位置取樣。
5.如權利要求1所述的方形靶材的取樣方法，其特征在于，各樣本的長度為10～25mm，寬度為8～20mm，厚度為4～10mm。
6.一種方形靶材的檢測方法，其特征在于，包括：
提供方形靶材；
在所述靶材的厚度方向分層取樣，在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣；其中，在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣包括在所述靶材的長邊和寬邊的夾角位置以及所述靶材的中心位置取樣和在所述靶材的長邊和寬邊的中心位置以及所述靶材的中心位置取樣；
對各樣本進行金相觀察。
7.如權利要求6所述的方形靶材的檢測方法，其特征在于，所述方形靶材的長度大于3m，寬度大于1.5m，厚度大于20mm。
8.如權利要求6所述的方形靶材的檢測方法，其特征在于，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材的厚度方向分上中下三層取樣；在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣包括在所述靶材的長邊和寬邊的夾角位置以及所述靶材的中心位置取樣。
9.如權利要求6所述的方形靶材的檢測方法，其特征在于，在所述靶材的厚度方向分層取樣包括在所述靶材的厚度方向分上下兩層取樣；在所述靶材的長寬方向按邊心邊取樣包括在所述靶材的長邊和寬邊的中心位置以及所述靶材的中心位置取樣。
10.如權利要求6所述的方形靶材的檢測方法，其特征在于，所述各樣本的長度為10～25mm，寬度為8～20mm，厚度為4～10mm。
11.如權利要求6所述的方形靶材的檢測方法，其特征在于，所述對各樣本進行金相觀察包括：對所述樣本進行研磨、拋光和化學腐蝕處理；用金相顯微鏡觀察所述處理后的樣本的組織結構。
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