[發(fā)明專(zhuān)利]太陽(yáng)能電池硅片檢測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910149174.3
• 申請(qǐng)日: 2009-06-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101581671A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-11-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 裴世鈾;李波;楊鐵成;樊思民;陳利平
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 3i系統(tǒng)公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/64
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/64;G01N21/88;B07C5/342
• 代理公司: 廣州新諾專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 華 輝;周端儀

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種檢測(cè)系統(tǒng)，特別是一種太陽(yáng)能電池硅片檢測(cè)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

太陽(yáng)能板的主要構(gòu)成部件為太陽(yáng)能硅片，太陽(yáng)能硅片的光電轉(zhuǎn)換功能效率不斷提升，在民用、國(guó)防、航空、航天等諸方面都有極為重要的應(yīng)用，已成為清凈能源中不可或缺的成員之一，業(yè)界對(duì)太陽(yáng)能硅片需求殷切。由于太陽(yáng)能硅片很輕薄，在自動(dòng)化制造與檢測(cè)過(guò)程中，倘稍有不慎，即可造成破損、缺角甚至肉眼無(wú)法觀察的微細(xì)裂縫，這些缺陷應(yīng)該盡可能避免，以提升太陽(yáng)能板質(zhì)量。但現(xiàn)有的太陽(yáng)能電池硅片檢測(cè)系統(tǒng)無(wú)法在一條輸送裝置上完成檢測(cè)、分揀，增加了缺陷產(chǎn)生的幾率和檢測(cè)時(shí)間、成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，提供了一種可實(shí)現(xiàn)上料、曝光、分揀在一條輸送裝置上完成的太陽(yáng)能電池硅片檢測(cè)系統(tǒng)。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

太陽(yáng)能電池硅片檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：包括硅片輸送裝置，沿硅片輸送裝置依次設(shè)置上料區(qū)，用于將硅片放置在硅片輸送裝置上；

曝光區(qū)，設(shè)有位于硅片上方的檢測(cè)成像系統(tǒng)以及用于對(duì)硅片限位的限位機(jī)構(gòu)；

分揀區(qū)，用于將不同質(zhì)量的硅片放到對(duì)應(yīng)的收料盒中。

進(jìn)一步，所述限位機(jī)構(gòu)包括設(shè)于其底部的氣缸活塞桿和氣缸活塞桿上部的托盤(pán)，所述托盤(pán)上設(shè)有限定硅片位置的棘爪機(jī)構(gòu)，隨著氣缸活塞桿、托盤(pán)的上下移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)棘爪機(jī)構(gòu)對(duì)硅片的卡緊和松開(kāi)。

采用光致熒光原理對(duì)硅片進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，所述托盤(pán)上設(shè)有使硅片輸送裝置的傳送帶通過(guò)的傳送帶槽，所述棘爪機(jī)構(gòu)包括上端貫穿托盤(pán)的若干豎向“L”形棘爪，所述托盤(pán)底部對(duì)應(yīng)“L”形棘爪設(shè)有抓座，所述抓座內(nèi)設(shè)有橫軸和彈簧，“L”形棘爪活動(dòng)連接于橫軸上，所述氣缸活塞桿兩側(cè)設(shè)有立柱，所述立柱頂端設(shè)有平板，氣缸活塞桿貫穿平板，所述平板上對(duì)應(yīng)棘爪設(shè)有頂柱，隨著氣缸活塞桿、托盤(pán)的上下移動(dòng)，所述頂柱使得“L”形棘爪繞橫軸旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片的卡緊和松開(kāi)。

當(dāng)采用電致熒光原理對(duì)硅片進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，所述托盤(pán)上方設(shè)有固定有上探針的上基板，所述上基板固定于位于限位機(jī)構(gòu)四角、托盤(pán)外側(cè)的導(dǎo)向軸頂部，托盤(pán)下方設(shè)有下基板，托盤(pán)和下基板之間設(shè)有固定有下探針的探針架，托盤(pán)、探針架和下基板固定為一體，下基板下方設(shè)有棘爪板，所述棘爪板上固定有導(dǎo)柱，所述下基板上對(duì)應(yīng)設(shè)有容置導(dǎo)柱的導(dǎo)柱孔，所述托盤(pán)上設(shè)有探針孔，所述下探針上部位于探針孔內(nèi)，所述導(dǎo)柱上托盤(pán)和下基板間套接有彈簧，所述棘爪板周邊設(shè)有若干活動(dòng)連接“L”形棘爪的抓座，抓座內(nèi)對(duì)應(yīng)“L”形棘爪設(shè)有彈簧，“L”形棘爪上端部高于托盤(pán)，所述限位機(jī)構(gòu)底部設(shè)有固定板，所述固定板上對(duì)應(yīng)“L”形棘爪設(shè)有頂柱，固定板通過(guò)其四角的導(dǎo)向軸和上基板固定為一體，所述氣缸活塞桿穿過(guò)固定板、棘爪板和下基板固定，所述下基板在硅片的運(yùn)動(dòng)方向的兩側(cè)設(shè)有門(mén)板。

進(jìn)一步，所述頂柱為螺釘。

進(jìn)一步，所述上料區(qū)設(shè)有上料盒和機(jī)械手，所述上料盒前面板可繞位于其底部的軸開(kāi)合。

進(jìn)一步，所述檢測(cè)成像系統(tǒng)包括照明系統(tǒng)、成像鏡頭和相機(jī)，所述照明系統(tǒng)自上往下依次為勻光管和照明鏡頭，所述勻光管的對(duì)稱(chēng)軸偏離照明鏡頭對(duì)稱(chēng)軸一定距離，所述成像鏡頭前設(shè)有濾光片。

進(jìn)一步，所述檢測(cè)成像系統(tǒng)包括照明系統(tǒng)和成像系統(tǒng)，所述照明系統(tǒng)自右向左依次為勻光管和照明鏡頭，從照明鏡頭發(fā)出的光線射到二向色鏡上，所述二向色鏡上方自上向下依次為相機(jī)的CCD和濾光片，所述二向色鏡下方為鏡頭。

進(jìn)一步，所述曝光區(qū)和分揀區(qū)之間設(shè)有候檢區(qū)，硅片在經(jīng)過(guò)候檢區(qū)的時(shí)間內(nèi)算法給出對(duì)硅片的評(píng)判。

進(jìn)一步，所述分揀區(qū)硅片輸送裝置兩側(cè)設(shè)有至少一個(gè)機(jī)械手以及對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)收料盒，所述硅片輸送裝置尾端設(shè)有收料盒，所述收料盒底板和側(cè)板的角度大于45度。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

1、本發(fā)明采用這種結(jié)構(gòu)，只需將硅片放入上料區(qū)的上料盒，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片的分揀，簡(jiǎn)單、實(shí)用。

2、對(duì)光致熒光原理和電致熒光原理分別設(shè)計(jì)了不同的限位機(jī)構(gòu)，并實(shí)現(xiàn)了對(duì)硅片的精確固定。

3、上料區(qū)的上料盒前面板可繞位于其底部的軸開(kāi)合，使得將硅片裝入上料盒簡(jiǎn)單、易操作。

4、照明系統(tǒng)的勻光管的對(duì)稱(chēng)軸偏離照明鏡頭對(duì)稱(chēng)軸一定距離，此種結(jié)構(gòu)將斜光照明和直光照明的優(yōu)點(diǎn)結(jié)合起來(lái)。斜光照明能夠保證比較少的雜光進(jìn)入相機(jī)，而直光照明保證和硅片等比例照明光斑。

5、分揀區(qū)收料盒的底板有大于45°傾斜角度，保證硅片能夠順利落入盒中。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明：

圖1是本發(fā)明實(shí)施例1的立體結(jié)構(gòu)圖；