[發明專利]太陽能電池硅片檢測系統

有效

• 申請號: 200910149174.3
• 申請日: 2009-06-12
• 公開（公告）號: CN101581671A
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發明（設計）人: 裴世鈾;李波;楊鐵成;樊思民;陳利平
• 申請（專利權）人: 3i系統公司
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64;G01N21/88;B07C5/342
• 代理公司: 廣州新諾專利商標事務所有限公司
• 代理人: 華 輝;周端儀

1.太陽能電池硅片檢測系統，其特征在于：包括硅片輸送裝置，沿硅片輸送裝置依次設置上料區，用于將硅片放置在硅片輸送裝置上；

曝光區，設有位于硅片上方的檢測成像系統以及用于對硅片限位的限位機構；

分揀區，用于將不同質量的硅片放到對應的收料盒中；

所述限位機構包括設于其底部的氣缸活塞桿和氣缸活塞桿上部的托盤，所述托盤上設有限定硅片位置的棘爪機構，隨著氣缸活塞桿、托盤的上下移動，實現棘爪機構對硅片的卡緊和松開，

所述托盤上設有使硅片輸送裝置的傳送帶通過的傳送帶槽，所述棘爪機構包括上端貫穿托盤的若干豎向“L”形棘爪，所述托盤底部對應“L”形棘爪設有抓座，所述抓座內設有橫軸和彈簧，“L”形棘爪活動連接于橫軸上，所述氣缸活塞桿兩側設有立柱，所述立柱頂端設有平板，氣缸活塞桿貫穿平板，所述平板上對應棘爪設有頂柱，隨著氣缸活塞桿、托盤的上下移動，所述頂柱使得“L”形棘爪繞橫軸旋轉，實現對硅片的卡緊和松開。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池硅片檢測系統，其特征在于：所述上料區設有上料盒和機械手，所述上料盒前面板可繞位于其底部的軸開合。

3.根據權利要求1所述的太陽能電池硅片檢測系統，其特征在于：所述檢測成像系統包括照明系統、成像鏡頭和相機，所述照明系統自上往下依次為勻光管和照明鏡頭，所述勻光管的對稱軸偏離照明鏡頭對稱軸一定距離，所述成像鏡頭前設有濾光片。

4.根據權利要求1所述的太陽能電池硅片檢測系統，其特征在于：所述檢測成像系統包括照明系統和成像系統，所述照明系統自右向左依次為勻光管和照明鏡頭，從照明鏡頭發出的光線射到二向色鏡上，所述二向色鏡上方自上向下依次為相機的CCD和濾光片，所述二向色鏡下方為鏡頭。

5.根據權利要求1所述的太陽能電池硅片檢測系統，其特征在于：所述曝光區和分揀區之間設有候檢區，硅片在經過候檢區的時間內算法給出對硅片的評判。

6.根據權利要求1所述的太陽能電池硅片檢測系統，其特征在于：所述分揀區硅片輸送裝置兩側設有至少一個機械手以及對應的至少一個收料盒，所述硅片輸送裝置尾端設有收料盒，所述收料盒底板和側板的角度大于45度。