[發(fā)明專(zhuān)利]基板自動(dòng)傳送系統(tǒng)和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910149167.3
• 申請(qǐng)日: 2009-06-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101794076A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 萊昂內(nèi)爾·弗爾伍德;格瑞格·巴克斯特;約韓·H·哈特;拉賈·D·辛格
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 王氏港建經(jīng)銷(xiāo)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20;H05K3/00
• 代理公司: 珠海智專(zhuān)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44262
• 代理人: 段淑華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于曝光基板上光刻物質(zhì)的系統(tǒng)和方法，更具體 地講，涉及用于運(yùn)送基板通過(guò)曝光系統(tǒng)的基板自動(dòng)傳送系統(tǒng)和方 法。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)上，印刷電路板(即PCB)在制造的過(guò)程中需要感光聚 合物涂層來(lái)定義電路，或者在電路印制好后需要用保護(hù)涂層對(duì)線 路進(jìn)行保護(hù)并防止元件裝配時(shí)電路短路。在該所述兩種情形下， 均使用光聚合有機(jī)涂層。紫外線在PCB的制造過(guò)程中用于激活涂 層物質(zhì)的聚合，即，固化光聚合物質(zhì)。通常的做法是，基板又稱(chēng) 面板置于紫外線曝光系統(tǒng)中曝光約數(shù)秒至一分鐘。板上曝光區(qū)域 的物質(zhì)將固化，而非曝光區(qū)域的物質(zhì)不會(huì)固化。曝光區(qū)域和非曝 光區(qū)域由滌綸片或玻璃片上的光刻原圖來(lái)定義，載有光刻原圖的 片通常安裝于曝光機(jī)的玻璃板上。

已有技術(shù)使用傳動(dòng)輪或者傳動(dòng)帶來(lái)傳遞涂敷有光敏物質(zhì)的 PCB板，由于傳動(dòng)輪或傳動(dòng)帶與PCB板之間接觸，刮傷在所難 免；并且，由于涂層物質(zhì)粘稠，包括傳遞部件在內(nèi)的運(yùn)輸機(jī)構(gòu)需 要經(jīng)常清潔，否則容易導(dǎo)致生產(chǎn)阻塞或停滯。因此，PCB生產(chǎn)中 不時(shí)地停機(jī)清潔導(dǎo)致了生產(chǎn)時(shí)間的延長(zhǎng)。

另外，目前普遍采用基板和原圖的手工對(duì)齊方法，其通過(guò)目 視鏡來(lái)注冊(cè)驗(yàn)證。為了獲得可接受的精度和良率，該方法也較耗 時(shí)。

如果處理中的基板小于曝光設(shè)備中最大的圖像面積，現(xiàn)有的 機(jī)器設(shè)備要求人工安裝厚度與基板相同的墊片以支撐安裝原圖的 玻璃板的四周，以避免玻璃板的破損或周邊變形，從而產(chǎn)生較好 的圖像。人工安裝墊片引入了由微粒(比如固定墊片的膠帶上的 灰塵)侵入而引起的瑕疵，極大地增加了安裝時(shí)間，且增加了安 裝錯(cuò)誤的可能性。

對(duì)齊后的光刻原圖和基板被打包放入手工機(jī)器的真空托盤(pán) 中，然后該托盤(pán)將被抽真空，接著，整個(gè)包裹放在紫外線下曝光 數(shù)秒至一分鐘。由于使用較小的真空泵和較細(xì)管徑的真空管道， 抽真空以使光刻原圖和基板平整、緊密貼合需要花費(fèi)較長(zhǎng)的時(shí) 間。可見(jiàn)，該做法也延長(zhǎng)了PCB的制造時(shí)間，從而降低了流水生 產(chǎn)的效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的之一是提供一種生產(chǎn)效率較高且不會(huì)對(duì)基 板造成刮傷的基板自動(dòng)傳送系統(tǒng)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的基板自動(dòng)傳送系統(tǒng)包括：一個(gè)第 一工作臺(tái)，其上表面設(shè)有允許氣流形成氣膜以承載基板的多個(gè) 孔；一個(gè)翻轉(zhuǎn)模塊，其被配置為從所述第一工作臺(tái)接收所述基板 并旋轉(zhuǎn)從而翻轉(zhuǎn)所述基板，該模塊具有一上內(nèi)表面和一下內(nèi)表 面，其中所述上、下內(nèi)表面均設(shè)有用于形成氣膜以承載所述基板 的多個(gè)孔；一個(gè)第二工作臺(tái)，用于從所述翻轉(zhuǎn)模塊接收所述基 板，所述第二工作臺(tái)的上表面設(shè)有允許氣流形成氣膜以承載基板 的多個(gè)孔。

由上可見(jiàn)，基板在氣膜上被傳送，其表面粘稠的涂層物質(zhì)不 會(huì)碰到各工作臺(tái)和翻轉(zhuǎn)模塊的相應(yīng)表面，從而避免了由接觸而導(dǎo) 致的基板刮傷和粘稠物質(zhì)的轉(zhuǎn)移。由于無(wú)需先前的清潔，PCB的 流水生產(chǎn)效率得以提高。此外，該系統(tǒng)也能傳遞各種不同的基 板，比如薄的柔性板和重的剛性板，即擴(kuò)大了該系統(tǒng)傳送板的種 類(lèi)。

對(duì)上述基板自動(dòng)傳送系統(tǒng)的各種改進(jìn)包括：

該系統(tǒng)還包括一個(gè)將所述第一工作臺(tái)提升到曝光位置的第一 工作臺(tái)提升裝置；

該系統(tǒng)還包括一個(gè)將所述第二工作臺(tái)提升到曝光位置的第二 工作臺(tái)提升裝置；

該系統(tǒng)進(jìn)一步包括一個(gè)用于裝載光刻原圖并使之與所述基板 對(duì)準(zhǔn)的第一原圖裝載和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)；

該系統(tǒng)進(jìn)一步包括一個(gè)用于裝載光刻原圖并使之與所述基板 對(duì)準(zhǔn)的第二原圖裝載和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)；

該系統(tǒng)進(jìn)一步包括一個(gè)用于給所述第一工作臺(tái)施加一真空以 使所述基板和所述原圖緊貼以待曝光的第一真空系統(tǒng)；

該系統(tǒng)進(jìn)一步包括一個(gè)用于給所述第二工作臺(tái)施加一真空以 使所述基板和所述原圖緊貼以待曝光的第二真空系統(tǒng)；

該系統(tǒng)進(jìn)一步包括一個(gè)用于向所述基板提供紫外線的第一紫 外燈曝光系統(tǒng)；

該系統(tǒng)進(jìn)一步包括一個(gè)用于向所述基板提供紫外線的第二紫 外燈曝光系統(tǒng)；

該系統(tǒng)進(jìn)一步包括一個(gè)用于將基板傳遞到所述第一工作臺(tái)的 入料輥；

該系統(tǒng)進(jìn)一步包括一個(gè)用于將基板從所述第二工作臺(tái)送出系 統(tǒng)的出料輥；

所述入料輥包括至少一個(gè)止位件和兩個(gè)及其以上的限位件， 所述止位件和限位件用于對(duì)齊待被所述第一工作臺(tái)處理的基板；