[發明專利]處理裝置

無效

• 申請號: 200910149131.5
• 申請日: 2009-06-17
• 公開（公告）號: CN101609790A
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發明（設計）人: 南雅人;佐佐木芳彥
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;C23F4/00;H05H1/24;H01J37/32
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍 淳

技術區域

本發明涉及在處理容器內向例如FPD(平板顯示器)用的玻璃基板等的被處理體供給處理氣體，并通過該處理氣體，對上述被處理體進行規定的處理的技術。

背景技術

在LCD(Liquid?Crystal?Display：液晶顯示裝置)的制造工序中，具有對玻璃基板上形成的鋁(Al)膜進行蝕刻處理的工序。對于進行該工序的蝕刻處理裝置的一個例子根據圖12進行簡單的說明，圖中1是真空腔室，在該真空腔室1的內部，設置有用于載置作為被處理體的例如FPD基板S(以下，簡稱為基板S)的載置臺11，并且以與該載置臺11相對的方式設置有成為上部電極的處理氣體供給部12。而且，從處理氣體供給部12向真空腔室1的內部供給例如氯(Cl₂)系氣體構成的蝕刻氣體，經過排氣流路13，用沒有圖示的真空泵對真空腔室1內進行真空抽吸，另一方面，通過從高頻電源14向上述載置臺11施加高頻電力，在基板S的上方空間形成蝕刻氣體的等離子體，由此對基板S進行蝕刻處理。

但是，Al膜的蝕刻中，供給速率，即因為蝕刻氣體的供給量和蝕刻量成比例，所以通過負荷效果使基板S周邊部的蝕刻速度變得極快，產生蝕刻量變多的現象。也就是說，在圖13中，在用符號15表示的基板S的周邊部，從作為蝕刻劑的Cl自由基來看，和用符號16表示的相同面積的中央區域相比蝕刻面積大約是一半，因此如果用與供給中央區域16的流量相同的流量供給蝕刻氣體，那么與中央區域16相比，周邊部15的蝕刻量大約是其的2倍。

因此，如圖12和圖14(a)所示，采用通過設置包圍基板S的周圍的整流部件17，用整流部件17遮住基板S的周邊部附近的蝕刻氣體流，在基板S的周圍形成氣體積存區域的對策。通過這種方法，使該區域的蝕刻氣體的流速降低，可以在基板面內提高蝕刻速度的均一性。

但是，如果設置這樣的整流部件17，則當整流部件17的上端例如比從設置于真空腔室1的側壁部的搬入搬出口10搬入的基板S的搬送高度高時，搬送中的基板S和整流部件17互相干涉。因此，例如如圖14(b)所示，使整流部件17自由升降，通過使整流部件17從載置臺11升起而形成的間隙搬入搬出基板S。

這里，整流部件17構成為，，例如將由陶瓷制的板材構成的4塊整流壁171組合，形成框架，該框架以包圍基板S的形式被載置在載置臺11上。在這4塊中的例如相對的2塊整流壁171的側面，以向載置臺11的外部伸出的方式設置有突出部172，在各個突出部172的下表面連接有支撐整流部件17的支撐棒181。而且，通過升降機構18上下移動各個支撐棒181，可以升降整個整流部件17。

另一方面，近幾年來，FPD基板S的大型化日益推進，例如開發出了處理一邊邊長在2米以上的基板S的蝕刻處理裝置。這樣的蝕刻處理裝置中，對于包圍基板S的整流部件17也需要其是一個邊的邊長在2米以上的大型部件，特別是構成整流部件17的整流壁171，為了達到抑制對真空腔室1中形成的等離子體的影響的目的，其由上述的陶瓷制成，因此各整流壁171的重量化會明顯。

這里，如圖15(a)所示，形成到上緣的高度“h”例如為50mm-150mm程度的細長的四邊形(角形)形狀的整流壁171，支撐其兩端從載置臺11上升的情況下，其長度“L”例如是2米以上，重量化的整流壁171由于其自重會出現中央部彎曲的情況。如果整流壁171彎曲，例如如圖15(b)所示，整流壁171的中央部會向下方鼓出，妨礙基板S的搬送；或者如圖15(c)所示，在載置臺11上載置整流部件17時，從整流部件17彎曲的中央部接觸載置臺11，形成所謂的“單邊接觸”的狀態，重復這個動作，整流部件17和載置臺11可能會在局部磨損而產生灰塵，或破損。

這一點，例如現有的整流部件17，如圖14(a)等所示，通過以突出部172支撐其4個角的下緣部，使加載在整流壁171上的負荷平均化，來避免特定的整流壁171上加有過大的自重而使彎曲變大的情況。但是近年的基板S的大型化，通過分散負荷的對應來減輕彎曲是不夠的，需要更進一步的針對重量化的對策。

為了減輕伴隨重量化的彎曲，雖然可以考慮將如圖15(a)所示的整流部件17的高度“h”加大來提高相對重力方向的整流部件17的剛性的方法，但是，由于伴隨整流部件17的進一步的重量化，使升降機構18的負擔變大，會需要更新驅動系統。而且，在維護蝕刻處理裝置等情況下，現狀是可以通過例如手工作業來進行整流部件17的拆卸、安裝，但是，伴隨著重量化有可能需要起重機等機械，維護性就會惡化。