[發(fā)明專利]液體噴出頭及其制造方法以及結(jié)構(gòu)體的形成方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910147277.6
• 申請(qǐng)日: 2009-06-19
• 公開（公告）號(hào): CN101607479A
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 堀內(nèi)勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 佳能株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B41J2/16
• 分類號(hào): B41J2/16;B41J2/14;H01L21/02
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 劉新宇

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及噴射液體的液體噴出頭、液體噴出頭的制造方 法以及結(jié)構(gòu)體的形成方法。本發(fā)明特別涉及朝記錄介質(zhì)噴墨以 進(jìn)行記錄的液體噴出頭、該液體噴出頭的制造方法、以及可應(yīng) 用于半導(dǎo)體制造的微結(jié)構(gòu)體的形成方法。

背景技術(shù)

使用噴射液體的液體噴出頭的處理的例子是噴墨記錄處理 (液體噴射記錄處理)。

通常，用于噴墨記錄處理的噴墨記錄頭包括微細(xì)的排出口、 液體通道以及設(shè)置在液體通道中的能量產(chǎn)生元件，該能量產(chǎn)生 元件產(chǎn)生用于噴射液體的能量。制造這種噴墨記錄頭的方法例 如公開于美國(guó)專利No.5,478,606中。

使用可溶樹脂將用于形成通道的圖案形成在具有能量產(chǎn)生 元件的基板上；將包含環(huán)氧樹脂和陽(yáng)離子光聚合引發(fā)劑的、用 于形成通道壁的覆蓋樹脂層形成在所述圖案上；通過光刻技術(shù) 在能量產(chǎn)生元件上形成排出口；溶解掉可溶樹脂；以及，最后 將覆蓋樹脂層固化，由此形成通道壁。

因?yàn)楝F(xiàn)在所使用的材料，美國(guó)專利No.5,478,606中公開的 方法在圖案精度上具有一定的局限性，然而，如圖7所示，它 能夠以高達(dá)600dpi的噴嘴密度很好地形成通道壁101。參照?qǐng)D 7，附圖標(biāo)記103表示配置在基板上并產(chǎn)生用于噴射液體的能量 的能量產(chǎn)生元件。通道壁101的縱橫比(高長(zhǎng)比)為4∶3。然 而，由于包含感光材料的成型構(gòu)件的分辨率不夠，所以以 1200dpi的噴嘴密度來很好地形成通道壁101是困難的。例如， 當(dāng)通道壁101如圖8所示地與噴嘴密合增強(qiáng)層102分隔開時(shí)，彼 此相鄰的噴嘴彼此連通地連接，從而受到串?dāng)_(crosstalk)影 響。這會(huì)影響噴墨。

應(yīng)對(duì)上述問題的一種可能的對(duì)策是用高分辨率材料來代替 所述感光材料。然而，難以立即開發(fā)出這種高分辨率材料。應(yīng) 對(duì)上述問題的另一種可能的對(duì)策是減小成型構(gòu)件的厚度。噴嘴 密度增大到1200dpi導(dǎo)致每個(gè)通道的長(zhǎng)度減小。這會(huì)引起噴嘴 不能足夠地再充填墨。為了保證通道的橫截面積并且為了防止 通道的不足夠的再充填，通道的高度必須變高。用于形成通道 的成型構(gòu)件的厚度減小導(dǎo)致通道的高度的降低，因此實(shí)際上是 困難的。由于噴嘴密度的增大，上述兩種對(duì)策對(duì)解決上述問題 是行不通的。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種液體噴出頭，在該液體噴出頭中，通道和 排出口被高密度地排列，然而，防止所述通道和所述排出口被 連通地連接，在所述液體噴出頭中，通道壁被牢固地接合到基 板。本發(fā)明提供一種液體噴出頭的制造方法。而且，除液體噴 出頭外，本發(fā)明還提供一種可以應(yīng)用在半導(dǎo)體制造中的微結(jié)構(gòu) 體的形成方法

本發(fā)明的一個(gè)方面提供一種液體噴出頭的制造方法，所述 液體噴出頭包括基板和設(shè)置在所述基板上的構(gòu)件，所述構(gòu)件具 有連通地連接到排出口的通道，經(jīng)由所述排出口噴射液體。所 述制造方法包括：在所述基板上設(shè)置由正性感光性樹脂制成的 第一固體層，使得所述第一固體層的外側(cè)面與所述基板形成鈍 角；在所述基板上設(shè)置第二固體層，使得所述第二固體層與所 述第一固體層的所述外側(cè)面抵接，所述第二固體層被處理成型 模的用于所述通道的至少一部分；通過所述第二固體層對(duì)所述 第一固體層的部分所述外側(cè)面進(jìn)行曝光；從所述第一固體層去 除曝光過的部分；在所述第二固體層上設(shè)置覆蓋層，所述覆蓋 層被處理成所述構(gòu)件。

根據(jù)所述制造方法，液體噴出頭可以被制造成使得通道和 排出口被高密度地排列，防止通道被彼此連通地連接，并且可 以確保通道的長(zhǎng)度。

根據(jù)所述制造方法，當(dāng)本發(fā)明的通道以與由傳統(tǒng)方法形成 的通道的密度相同的密度排列時(shí)，本發(fā)明的通道的橫截面積大 于由傳統(tǒng)方法形成的通道的橫截面積。這可以增大再充填速率。

當(dāng)本發(fā)明的通道的橫截面積與由傳統(tǒng)方法形成的通道的橫 截面積相等時(shí)，與傳統(tǒng)方法相比，可以增大基板和各個(gè)通道壁 之間的接觸面積，因此，通道壁可以形成為在密合性方面良好。