[發明專利]液體噴出頭及其制造方法以及結構體的形成方法

有效

• 申請號: 200910147277.6
• 申請日: 2009-06-19
• 公開（公告）號: CN101607479A
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發明（設計）人: 堀內勇
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16;B41J2/14;H01L21/02
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇

1.一種液體噴出頭的制造方法，所述液體噴出頭包括基板 和被設置在所述基板上方的構件，所述構件具有連通地連接到 噴射液體用的排出口的通道；所述制造方法包括：

在所述基板上方設置由正性感光性樹脂制成的第一固體 層，使得所述第一固體層的外側面與所述基板形成鈍角；

在所述基板上方設置第二固體層，使得所述第二固體層與 所述第一固體層的所述外側面抵接，所述第二固體層被處理成 所述通道用的型模的至少一部分；

從所述第二固體層形成所述通道用的型模的至少一部分；

經由所述第二固體層對所述第一固體層的部分所述外側面 進行曝光；

從所述第一固體層去除曝光過的部分；

在所述通道用的型模的所述至少一部分上設置覆蓋層，所 述覆蓋層被處理成所述構件；

至少去除所述型模的所述至少一部分以形成所述通道。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二固 體層被設置在所述第一固體層上。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在對所述第 一固體層進行曝光之前，將所述第二固體層圖案化成具有與所 述通道對應的形狀的圖案。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，通過對被設 置在所述基板上方的所述正性感光性樹脂進行曝光來成形所述 第一固體層的所述外側面。

5.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，在將所述第 二固體層形成在所述第一固體層上之后，對所述第二固體層進 行研磨。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，對所述第二 固體層進行研磨使得所述第一固體層露出。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二固 體層能夠透過用于對所述第一固體層進行曝光的光，并且所述 第二固體層對于用于對所述第一固體層進行曝光的光具有80％ 以上的透過率。

8.一種液體噴出頭的制造方法，所述液體噴出頭包括基板 和被設置在所述基板上方的構件，所述構件具有連通地連接到 噴射液體用的排出口的通道；所述制造方法包括：

在所述基板上方設置由正性感光性樹脂制成的第一固體 層，使得所述第一固體層的外側面與所述基板形成鈍角；

在所述基板上方設置第二固體層，使得所述第二固體層與 所述第一固體層的所述外側面抵接，所述第二固體層被處理成 所述通道用的型模；

從所述第二固體層形成所述通道用的型模；

經由所述第二固體層對所述第一固體層全部進行曝光；

從所述第一固體層去除曝光過的部分；

在所述通道用的型模上設置覆蓋層，所述覆蓋層被處理成 所述構件；

去除所述型模以形成所述通道。

9.一種液體噴出頭的制造方法，所述液體噴出頭包括基板 和被設置在所述基板上方的構件，所述構件具有連通地連接到 噴射液體用的排出口的通道；所述制造方法包括：

在所述基板上方設置第一固體層，使得所述第一固體層的 外側面與所述基板形成鈍角；

在所述基板上方設置用于形成所述通道用的型模的第二固 體層，使得所述第二固體層與所述第一固體層的所述外側面抵 接；

從所述第二固體層形成所述通道用的型模；

去除所述第一固體層；

在所述型模上設置覆蓋層；

通過去除所述型模而形成所述通道。

10.一種結構體的形成方法，其包括：

在基板上方設置第一固體層，使得所述第一固體層的外側 面與所述基板形成鈍角；

在所述基板上方設置由正性感光性樹脂制成的第二固體 層，使得所述第二固體層與所述第一固體層的所述外側面抵接， 所述第二固體層被處理成所述結構體；以及

去除所述第一固體層。