[發明專利]具有集成能量過濾器的帶電粒子源

有效

• 申請號: 200910145359.7
• 申請日: 2009-05-26
• 公開（公告）號: CN101593658A
• 公開（公告）日: 2009-12-02
• 發明（設計）人: A·亨斯特拉
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/04
• 分類號: H01J37/04;H01J37/147
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 湯春龍;徐予紅

1.一種用于產生帶電粒子束的帶電粒子源，包括：

·發射帶電粒子的帶電粒子發射表面；

·用于形成帶電粒子發射表面的圖像的透鏡，所述透鏡顯示有光 軸；

·用于限制所述帶電粒子束的限束光闌，其使用方式使得至少形 成兩個束，穿過所述透鏡中間的中央束和偏心地穿過所述透鏡的偏心 束；

·用于將所述中央束和所述偏心束中的一個向所述光軸偏轉的 第一偏轉器；以及

·能量選擇光闌，顯示有讓部分所述偏心束穿過的能量選擇孔以 及讓所述中央束穿過的中央孔，所述能量選擇光闌位于所述粒子發射 表面和所述偏轉器之間；以及

·將所述偏心束對準所述能量選擇孔的第二偏轉器；

其特征在于

·當使用第二偏轉器聚焦所述偏心束并將其對準所述能量選擇 孔時，第二偏轉器同時將所述中央束偏轉，偏轉程度使得所述中央束 被能量選擇光闌阻擋。

2.如權利要求1所述的帶電粒子源，其中第二偏轉器和所述透 鏡集成在一個多極元件中。

3.如權利要求2所述的帶電粒子源，其中所述多極元件配備成 用作所述帶電粒子束的象散校正裝置。

4.如權利要求2至3中任一項所述的帶電粒子源，其中所述多 極元件是靜電多極元件。

5.如權利要求1至3中任一項所述的帶電粒子源，其中所述能 量選擇光闌顯示有用于穿過部分所述偏心束的大量能量選擇孔。

6.如權利要求1至3中任一項所述的帶電粒子源，其中形成了 大量偏心束，每個所述偏心束被用作穿過能量選擇孔的偏心束。

7.如權利要求1至3中任一項所述的帶電粒子源，其中在所述 中央束穿過所述能量選擇光闌時，沒有偏心束穿過所述能量選擇光闌 。

8.如權利要求1至3中任一項所述的帶電粒子源，其中第二偏 轉器導致與所述中央束的偏轉不同的所述偏心束的偏轉。

9.一種用于形成樣本圖像的粒子光學設備，所述設備配備有根 據以上權利要求中任一項所述的帶電粒子源。

10.如權利要求9所述的粒子光學設備，其中所述設備配備為在 所述樣本上形成聚焦束。

11.如權利要求9或權利要求10所述的粒子光學設備，其中， 所述設備配備成在所述帶電粒子撞擊所述樣本之前變更由所述帶電 粒子源產生并且由所述第一偏轉器向所述光軸偏轉的帶電粒子的能 量。

12.如權利要求11所述的粒子光學設備，其中所述變更是所述 能量的降低。