[發明專利]射頻離子電源

無效

• 申請號: 200910143265.6
• 申請日: 2009-05-22
• 公開（公告）號: CN101552551A
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 張建偉
• 申請（專利權）人: 唐山海通電子有限公司
• 主分類號: H02M3/04
• 分類號: H02M3/04;H02M1/44;H03F3/26
• 代理公司: 唐山永和專利商標事務所
• 代理人: 張云和

技術領域：

本發明涉及一種電源技術領域，具體的說是一種射頻離子電源。

背景技術：

現有的射頻電源技術采用它激式石英晶體穩頻，功率輸出采用金屬陶瓷四極管FU-100F。電子管與電纜之間采用匹配網絡。電纜與負載之間，由匹配箱來實現匹配。由于電源的工作與負載的匹配連接完全是由電源與負載之間加裝匹配箱來完成負載之間的匹配。匹配的性能好壞直接影響到生產中鍍膜的質量、由于設備中電極參數不斷的發生變化致使匹配性能難于控制，使操作工的操作難度增加，同時產品質量也難以得到保證。

發明內容：

本發明的目的旨在改進背景技術之不足而提供一種全自動控制的，能夠有效提高產品加工質量的自匹配射頻離子電源。

本發明采用如下技術方案：

一種射頻離子電源，包括可調電源電路，推挽放大自激振蕩電路，穩壓濾波電路，藕合輸出電路，所述可調電源電路對功率、電壓進行調節，該可調電源電路的輸出端連接有靜電除塵器，該靜電除塵器的另一端通過穩壓濾波電路與推挽放大自激振蕩電路連接，該推挽放大自激振蕩電路的另一端與藕合輸出電路連接，該藕合輸出電路的另一端接設備負載，該設備負載發出的信號反饋給推挽放大自激振蕩電路。

采用上述技術方案的本發明與現有技術相比，所設置的推挽放大自激振蕩電路，由電容提供正反饋信號，并通過電子管進行功率放大，實現電源與設備間的阻抗匹配；該電源的射頻峰值電壓高，工作開始不需要點火裝置，且能夠在較高的真空度下并且在高功率下轟擊，鍍膜夾具不粘晶片，對高頻晶片的鍍膜效率有很大的提高；增設的靜電除塵器完全消除工作過程中由于靜電的影響造成的粘附現象。

作為本發明技術方案的進一步改進，所述藕合輸出電路中輸出高頻信號，其輸出線圈(L₂)與設備負載之間產生選頻網絡，實現電源與設備的阻抗匹配。

作為本發明技術方案的進一步改進，所述的靜電除塵器與可調電源并聯后再與推挽放大自激振蕩電路連接。

作為本發明技術方案的進一步改進，所述的推挽放大自激振蕩電路中設有兩個高頻功率電子管，分別為第一高頻功率電子管(Q₁)和第二高頻功率電子管(Q₂)，所述第一高頻功率電子管(Q₁)與第二高頻功率電子管(Q₂)的陽極之間串接有電感線圈(L₁)，該電感線圈(L₁)分別與電容(C₁)和電容(C₂)的一端并聯，該電容(C₁)另一端與電感(L₃)并接后與第一高頻功率電子管(Q₁)的柵極連接，所述電容(C₂)的另一端與電感(L₄)并接后與第二高頻功率電子管(Q₂)的柵極連接。

附圖說明：

圖1是本發明的電路方框圖。

圖2是本發明的電路原理圖。

具體實施方式：

下面結合附圖及實施例詳述本發明：

一種射頻離子電源，參見附圖1和附圖2，由可調電源電路1，推挽放大自激振蕩電路2，藕合輸出電路3，設備負載4，靜電除塵器5，穩壓濾波電路6，輸出電纜7，電流指示電路8組成。

可調電源電路1對功率、電壓進行調節，可調電源電路1的輸出端連接有靜電除塵器5和電流指示電路8，靜電除塵器5的另一端與推挽放大自激振蕩電路2連接，推挽放大自激振蕩電路2的另一端通過穩壓濾波電路6與推挽放大自激振蕩電路2連接，藕合輸出電路3的另一端通過輸出電纜7接設備負載4的上電極，設備負載4發出的信號反饋給推挽放大自激振蕩電路3。

藕合輸出電路3中輸出高頻信號，其輸出線圈L₂與設備負載4之間產生選頻網絡，實現電源與設備的阻抗匹配。

靜電除塵器5中的電容C₇與可調電源電路1并聯后再與推挽放大自激振蕩電路2連接。