[發明專利]射頻離子電源

無效

• 申請號: 200910143265.6
• 申請日: 2009-05-22
• 公開（公告）號: CN101552551A
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 張建偉
• 申請（專利權）人: 唐山海通電子有限公司
• 主分類號: H02M3/04
• 分類號: H02M3/04;H02M1/44;H03F3/26
• 代理公司: 唐山永和專利商標事務所
• 代理人: 張云和

1.一種射頻離子電源，包括可調電源電路，推挽放大自激振蕩電路，穩壓濾波電路，耦合輸出電路，其特征在于：所述可調電源電路對功率、電壓進行調節，該可調電源電路的輸出端連接有靜電除塵器，該靜電除塵器的另一端通過穩壓濾波電路與推挽放大自激振蕩電路連接，該推挽放大自激振蕩電路的另一端與耦合輸出電路連接，該耦合輸出電路的另一端接設備負載，該設備負載發出的信號反饋給推挽放大自激振蕩電路。

2.根據權利要求1所述的射頻離子電源，其特征在于：所述耦合輸出電路中輸出高頻信號，其輸出線圈(L₂)與設備負載之間產生選頻網絡，實現電源與設備的阻抗匹配。

3.根據權利要求1所述的射頻離子電源，其特征在于：所述的靜電除塵器中的電容與可調電源電路并聯后再與推挽放大自激振蕩電路連接。

4.根據權利要求1所述的射頻離子電源，其特征在于：所述的推挽放大自激振蕩電路中設有兩個高頻功率電子管，分別為第一高頻功率電子管(Q₁)和第二高頻功率電子管(Q₂)，所述第一高頻功率電子管(Q₁)與第二高頻功率電子管(Q₂)的陽極之間串接有第一電感線圈(L₁)，該第一電感線圈(L₁)分別與第一電容(C₁)和第二電容(C₂)的一端連接，該第一電容(C₁)另一端與第五電感(L₅)及第二高頻功率電子管(Q₂)的柵極連接，所述第二電容(C₂)的另一端與第四電感(L₄)以及第一高頻功率電子管(Q₁)的柵極連接。