[發(fā)明專利]包括驅(qū)動晶體管的半導(dǎo)體裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910140192.5
• 申請日: 2009-07-10
• 公開（公告）號: CN101626021A
• 公開（公告）日: 2010-01-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李世薰;李忠浩;崔晶東;金泰瑢;金宇中;張桐熏;尹永培;金基玄;劉民胎
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L27/105
• 分類號: H01L27/105;H01L29/78;H01L29/417
• 代理公司: 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 李 佳;穆德駿

1.一種半導(dǎo)體裝置，包括：

在襯底中限定的驅(qū)動有源區(qū)，所述驅(qū)動有源區(qū)包括公共部分和第 一分支部分、第二分支部分以及第三分支部分，所述第一分支部分至 第三分支部分從所述公共部分延伸并且被相互間隔開；

分別跨越所述第一分支部分、所述第二分支部分和所述第三分支 部分的第一驅(qū)動?xùn)艠O圖案、第二驅(qū)動?xùn)艠O圖案以及第三驅(qū)動?xùn)艠O圖案；

被設(shè)置在至少所述公共部分中的公共源極/漏極；以及

第一單獨源極/漏極、第二單獨源極/漏極和第三單獨源極/漏極， 分別被設(shè)置在所述第一驅(qū)動?xùn)艠O圖案、所述第二驅(qū)動?xùn)艠O圖案和所述 第三驅(qū)動?xùn)艠O圖案的一側(cè)處的所述第一分支部分、所述第二分支部分 和所述第三分支部分中，所述第一單獨源極/漏極至第三單獨源極/漏極 被相互間隔開。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，還包括在所述襯底的單元區(qū) 中設(shè)置的第一單元串、第二單元串以及第三單元串，

其中，所述第一單元串包括被電連接到所述第一單獨源極/漏極的 柵極線；

所述第二單元串包括被電連接到所述第二單獨源極/漏極的柵極 線；以及

所述第三單元串包括被電連接到所述第三單獨源極/漏極的柵極 線。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述第一單元串至第 三單元串中的每一個包括第一選擇線、多個單元柵極線以及第二選擇 柵極線；以及

被電連接到所述第一單獨源極/漏極至第三單獨源極/漏極的所述 柵極線具有相同的類型。

4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，沿著第一方向順序地 布置所述第一分支部分、所述公共部分以及所述第三分支部分；以及

沿著與所述第一方向垂直的第二方向順序地布置所述公共部分和 所述第二分支部分。

5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，還包括：

第一接合傳導(dǎo)圖案，被設(shè)置在所述第一單獨源極/漏極上并且平行 于所述第一驅(qū)動?xùn)艠O圖案；

第二接合傳導(dǎo)圖案，被設(shè)置在所述第二單獨源極/漏極上并且平行 于所述第二驅(qū)動?xùn)艠O圖案；

第三接合傳導(dǎo)圖案，被設(shè)置在所述第三單獨源極/漏極上并且平行 于所述第三驅(qū)動?xùn)艠O圖案；以及

公共接合傳導(dǎo)圖案，被設(shè)置在所述公共源極/漏極上。

6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，還包括：

分別被電連接到所述第一單獨源極/漏極、第二單獨源極/漏極和第 三單獨源極/漏極的第一互連線、第二互連線以及第三互連線；以及

被電連接到所述公共源極/漏極的驅(qū)動線。

7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中：

所述驅(qū)動有源區(qū)包括第四分支部分，所述第四分支部分從所述公 共部分延伸并且與所述第一分支部分至第三分支部分間隔開；以及

所述半導(dǎo)體裝置還包括：

跨越所述第四分支部分的第四驅(qū)動?xùn)艠O圖案；以及

第四單獨源極/漏極，被設(shè)置在所述第四驅(qū)動?xùn)艠O圖案的一側(cè)處的 第四分支部分中并且與所述第一單獨源極/漏極至第三單獨源極/漏極 間隔開。

8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體裝置，其中：

沿著第一方向順序地布置所述第一分支部分、所述公共部分以及 所述第三分支部分；以及

沿著與所述第一方向垂直的第二方向順序地布置所述第二分支部 分、所述公共部分以及所述第四分支部分。

9.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體裝置，還包括：

被設(shè)置在所述襯底的單元區(qū)中的第一單元串、第二單元串、第三 單元串以及第四單元串，

其中，所述第一單元串包括被電連接到所述第一單獨源極/漏極的 柵極線；

所述第二單元串包括被電連接到所述第二單獨源極/漏極的柵極 線；

所述第三單元串包括被電連接到所述第三單獨源極/漏極的柵極 線；以及

所述第四單元串包括被電連接到所述第四單獨源極/漏極的柵極 線。