[發(fā)明專利]激光加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910139046.0
• 申請日: 2009-05-15
• 公開（公告）號(hào): CN101579785A
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡部憲嗣;田中祥一;黑川昌史
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社三豐
• 主分類號(hào): B23K26/00
• 分類號(hào): B23K26/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 馬高平

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光加工裝置。

背景技術(shù)

至今，作為修正發(fā)生在光掩模或平板顯示器(Flat?Panel?Display)中的 被稱作白缺陷或黑缺陷等缺陷的方法，激光化學(xué)汽相淀積(Chemical?Vapor Deposition)方法用于修正白缺陷，而使用激光光束來去除不必要的殘余缺 陷的激光修理(laser?repair)方法用于修正黑缺陷。

在多數(shù)情況下，由于用于上述各種修正方法的激光光束的波長彼此不 同，所以在修正上述兩種缺陷的情況下，使用發(fā)射具有不同波長的激光光 束的激光振蕩器以及包括所述激光振蕩器的單獨(dú)的激光加工裝置。

然而，在同一樣本中同時(shí)存在白缺陷和黑缺陷或者必須修正這兩種缺 陷等情況下，例如，有必要首先將樣本安裝在修正白缺陷的激光加工裝置 上，然后再將樣本安裝在修正黑缺陷的激光加工裝置上。這牽涉諸如安裝 樣本、調(diào)節(jié)位置等大量工作，成為妨礙改善工作效率的原因之一。此外， 由于有必要為每種缺陷修正準(zhǔn)備激光加工裝置，所以不能忽視修正缺陷所 需的相應(yīng)成本。

因此，希望使一個(gè)激光加工裝置設(shè)置有兩個(gè)發(fā)射不同波長的激光光束 的激光振蕩器。例如，已知一種激光成膜裝置，該裝置設(shè)置有第一和第二 激光光束發(fā)射器件，并且能夠去除膜互連線(film?interconnection)以及形 成新膜(例如，參考日本未審查專利申請H7-66204號(hào)公報(bào))。

然而，在上述專利所描述的激光成膜裝置中，由于第一和第二激光光 束發(fā)射器件所發(fā)射的第一和第二激光光束在到達(dá)設(shè)置于樣本近前的物鏡前 采取不同光路，所以設(shè)計(jì)激光加工裝置時(shí)，有可能存在例如增加殼體的尺 寸等不利缺點(diǎn)。此外，必須為每條光路準(zhǔn)備縫部，因此，在只需公用縫部 就能進(jìn)行多種缺陷修正的情況下，存在不能降低用于多余縫部的成本的問 題。

此外，由于分別由第一和第二激光光束發(fā)射器件發(fā)射的具有不同波長 的激光光束穿過同一物鏡的不同位置，所以必需這樣一種特性，即在每條 激光光束穿過的位置，必須使用具有適應(yīng)于各種波長的高透射性的薄膜來 形成物鏡。因此，還需關(guān)注物鏡的制造成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的課題是，在激光光束的光路中無需特殊光學(xué)系統(tǒng)的情況下， 能使用一個(gè)激光加工裝置來完成不同類型的激光加工，以降低激光加工裝 置的尺寸，并且以低成本提供該裝置。

為解決上述問題，本發(fā)明的第一方面涉及一種通過照射激光光束來加 工樣本的激光加工裝置，該激光加工裝置包括：

分別發(fā)射波長彼此不同的第一激光光束和第二激光光束的第一激光振 蕩器和第二激光振蕩器；

切換所述第一激光振蕩器或所述第二激光振蕩器以發(fā)射所述第一激光 光束或所述第二激光光束中任一個(gè)的切換器件；

設(shè)置在光路中用于將分別從所述第一激光振蕩器或所述第二激光振蕩 器發(fā)射的所述第一激光光束或所述第二激光光束中的任一個(gè)引導(dǎo)至所述樣 本的縫部，所述第一激光振蕩器或所述第二激光振蕩器被所述切換器件切 換；

設(shè)置成使分別從所述第一激光振蕩器或所述第二激光振蕩器發(fā)射的所 述第一激光光束或所述第二激光光束穿過所述縫部的光路形成構(gòu)件；和

將設(shè)置在所述光路中所述縫部和所述樣本之間的物鏡切換為具有預(yù)定 倍率的透鏡的物鏡切換器件，所述預(yù)定倍率對應(yīng)于所述第一激光光束或所 述第二激光光束的激光波長。

本發(fā)明的第二方面引用第一方面的激光加工裝置，其中，所述第一激 光光束是激光化學(xué)汽相淀積用激光光束，而所述第二激光光束是激光修理 用激光光束。

本發(fā)明的第三方面引用第一方面或第二方面的激光加工裝置，包括：

第一光學(xué)元件，該第一光學(xué)元件位于所述第一激光光束的光路中以反 射所述第一激光光束，并且能夠撤回到離開所述第一激光光束的光路的位 置；

第二光學(xué)元件，該第二光學(xué)元件位于所述第二激光光束的光路中以反 射所述第二激光光束，并且能夠撤回到離開所述第二激光光束的光路的位 置；

所述激光加工裝置還包括：

反射光束獲得器件，該反射光束獲得器件用于分別獲得所述第一激光 光束或所述第二激光光束的反射光束，所述反射光束被所述第一光學(xué)元件 或所述第二光學(xué)元件反射，所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件兩者根 據(jù)從被所述切換器件切換的所述第一激光振蕩器或所述第二振蕩器發(fā)射的 激光光束的類型被設(shè)置在光路中；和