[發明專利]激光加工裝置

有效

• 申請號: 200910139046.0
• 申請日: 2009-05-15
• 公開（公告）號: CN101579785A
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發明（設計）人: 岡部憲嗣;田中祥一;黑川昌史
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 馬高平

1.一種通過將激光光束照射到樣本來加工所述樣本的激光加工裝置， 包括：

分別發射波長彼此不同的第一激光光束和第二激光光束的第一激光振 蕩器和第二激光振蕩器；

切換所述第一激光振蕩器或所述第二激光振蕩器以發射所述第一激光 光束或所述第二激光光束中任一個的切換器件；

設置在光路中用于將分別從所述第一激光振蕩器或所述第二激光振蕩 器發射的所述第一激光光束或所述第二激光光束中的任一個引導至所述樣 本的公用縫部，所述第一激光振蕩器或所述第二激光振蕩器被所述切換器 件切換；

設置成使分別從所述第一激光振蕩器或所述第二激光振蕩器發射的所 述第一激光光束或所述第二激光光束穿過所述縫部的光路形成構件；

將設置在所述光路中所述縫部和所述樣本之間的物鏡切換為具有預定 倍率的透鏡的物鏡切換器件，所述預定倍率對應于所述第一激光光束或所 述第二激光光束的激光波長；

光源，該光源用于將與所述激光光束的光束軸一致的光照射到所述縫 部；和

觀察部，該觀察部用于觀察從所述光源發射的透過所述縫部并從樣本 表面反射的光。

2.如權利要求1所述的激光加工裝置，其中，所述第一激光光束是激 光化學汽相淀積用激光光束，而所述第二激光光束是激光修理用激光光束。

3.如權利要求1或2所述的激光加工裝置，其中，包括：

第一光學元件，該第一光學元件位于所述第一激光光束的光路中以反 射所述第一激光光束，并且能夠撤回到離開所述第一激光光束的光路的位 置；和

第二光學元件，該第二光學元件位于所述第二激光光束的光路中以反 射所述第二激光光束，并且能夠撤回到離開所述第二激光光束的光路的位 置；

所述激光加工裝置還包括：

反射光束獲得器件，該反射光束獲得器件用于分別獲得所述第一激光 光束或所述第二激光光束的反射光束，所述反射光束被所述第一光學元件 或所述第二光學元件反射，所述第一光學元件和所述第二光學元件兩者根 據從被所述切換器件切換的所述第一激光振蕩器或所述第二振蕩器發射的 激光光束的類型被設置在光路中；和

輸出狀態檢查器件，該輸出狀態檢查器件基于所述反射光束獲得器件 所獲得的反射光束來檢查所述第一激光振蕩器或所述第二激光振蕩器的輸 出狀態。