[發明專利]光電編碼器的光柵尺有效
| 申請號： | 200910137722.0 | 申請日： | 2009-04-27 |
| 公開（公告）號： | CN101566485A | 公開（公告）日： | 2009-10-28 |
| 發明（設計）人： | 富永淳;神野大 | 申請（專利權）人： | 株式會社三豐 |
| 主分類號： | G01D5/34 | 分類號： | G01D5/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光電 編碼器 光柵尺 | ||
1.一種光電編碼器的光柵尺，該光電編碼器檢測在預定波長范圍內的 光的反射，該光柵尺包括：
基底；
吸光層，包括至少形成在該基底的一個表面上的類金剛石碳層；以及
反光層，對落入該預定波長范圍的光具有比該吸光層的反射率更高的反 射率，并且在該吸光層上形成為光柵，
其中該類金剛石碳層形成在該基底的所有表面上，
其中該反光層形成在該吸光層的光入射側，并且
其中被該反光層暴露的該吸光層也形成為光柵。
2.根據權利要求1所述的光柵尺，其中：
該類金剛石碳層的厚度在250nm至1μm的范圍內。
3.根據權利要求1所述的光柵尺，其中：
該吸光層具有在該基底和該類金剛石碳層之間的至少包括金屬的粘合 劑層。
4.根據權利要求3所述的光柵尺，其中：
該粘合劑層包括鎢層、碳化鎢層、鉻層和鈦層的至少之一。
5.根據權利要求3所述的光柵尺，其中：
該粘合劑層包含碳化鎢層，其中包含的碳和鎢的相對比例沿著該粘合劑 層的厚度方向變化。
6.根據權利要求1所述的光柵尺，其中：
該吸光層對落入該預定波長范圍的光具有不大于20％的反射率。
7.根據權利要求2所述的光柵尺，其中：
該吸光層具有在該基底和該類金剛石碳層之間的至少包括金屬的粘合 劑層。
8.根據權利要求1所述的光柵尺，其中：
該吸光層具有在該基底和該類金剛石碳層之間的至少包括金屬的粘合 劑層。
9.根據權利要求2所述的光柵尺，其中；
該類金剛石碳層形成在該基底的所有表面上。
10.根據權利要求2所述的光柵尺，其中：
該吸光層對落入該預定波長范圍的光具有不大于20％的反射率。
11.根據權利要求1所述的光柵尺，其中：
該吸光層對落入該預定波長范圍的光具有不大于20％的反射率。
12.根據權利要求3所述的光柵尺，其中：
該吸光層對落入該預定波長范圍的光具有不大于20％的反射率。
13.根據權利要求4所述的光柵尺，其中：
該吸光層對落入該預定波長范圍的光具有不大于20％的反射率。
14.根據權利要求5所述的光柵尺，其中：
該吸光層對落入該預定波長范圍的光具有不大于20％的反射率。
15.根據權利要求1所述的光柵尺，其中該基底由金屬、玻璃和塑料之 一制成。
16.根據權利要求1所述的光柵尺，其中該基底由膨脹系數基本為零的 結晶玻璃和不銹鋼之一制成。
17.根據權利要求1所述的光柵尺，其中該基底是厚度在0.1mm至5mm 范圍內的金屬。
18.根據權利要求17所述的光柵尺，其中該光柵尺為柔性，從而能夠 被卷起。
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